光学与光电技术
光學與光電技術
광학여광전기술
OPTICS & OPTOELECTRONIC TECHNOLOGY
2005年
3期
54-57
,共4页
子孔径拼接法%平面消差%Zernike多项式拟合%精度分析
子孔徑拼接法%平麵消差%Zernike多項式擬閤%精度分析
자공경병접법%평면소차%Zernike다항식의합%정도분석
讨论了在用子孔径拼接法检测大口径光学镜面时的精度问题,并分别从理论上和实验中对拼接检验的精度做了定量分析.分别用平面消差、在非圆域内的Zernike多项式系数拟合和在圆域内的Zernike多项式系数拟合等三种方法对检测得到的波面面形数据进行数据处理.通过对这三种方法计算结果的分析,发现利用平面消差法拟合波面数据能更好地保存原始波面信息,且拟合误差较小.最后通过对实验数据的分析和处理验证了平面消差法拟合得到的波面更接近原始波面,拼接效果较好.
討論瞭在用子孔徑拼接法檢測大口徑光學鏡麵時的精度問題,併分彆從理論上和實驗中對拼接檢驗的精度做瞭定量分析.分彆用平麵消差、在非圓域內的Zernike多項式繫數擬閤和在圓域內的Zernike多項式繫數擬閤等三種方法對檢測得到的波麵麵形數據進行數據處理.通過對這三種方法計算結果的分析,髮現利用平麵消差法擬閤波麵數據能更好地保存原始波麵信息,且擬閤誤差較小.最後通過對實驗數據的分析和處理驗證瞭平麵消差法擬閤得到的波麵更接近原始波麵,拼接效果較好.
토론료재용자공경병접법검측대구경광학경면시적정도문제,병분별종이론상화실험중대병접검험적정도주료정량분석.분별용평면소차、재비원역내적Zernike다항식계수의합화재원역내적Zernike다항식계수의합등삼충방법대검측득도적파면면형수거진행수거처리.통과대저삼충방법계산결과적분석,발현이용평면소차법의합파면수거능경호지보존원시파면신식,차의합오차교소.최후통과대실험수거적분석화처리험증료평면소차법의합득도적파면경접근원시파면,병접효과교호.
