微纳电子技术
微納電子技術
미납전자기술
MICRONANOELECTRONIC TECHNOLOGY
2005年
3期
129-132
,共4页
滑移流动%平均自由程%压强分布%气体阻尼
滑移流動%平均自由程%壓彊分佈%氣體阻尼
활이류동%평균자유정%압강분포%기체조니
对平行平板微型槽中气体滑移流动的压强分布特性进行了研究.将压强和气体平均分子自由程的关系引入到一阶速度滑移边界条件中,求解Navier-Stokes方程,得到了显式的压强分布表达式.模拟计算结果表明,平行平板间滑移流动的气体压强分布曲线是上凸的下降抛物曲线.在边界滑移条件下,分析了平行平板微型槽在应用中由于微型槽中压力分布变化形成的气体阻尼问题,分析结果表明无滑移边界条件在微尺度流动分析中不再适用.
對平行平闆微型槽中氣體滑移流動的壓彊分佈特性進行瞭研究.將壓彊和氣體平均分子自由程的關繫引入到一階速度滑移邊界條件中,求解Navier-Stokes方程,得到瞭顯式的壓彊分佈錶達式.模擬計算結果錶明,平行平闆間滑移流動的氣體壓彊分佈麯線是上凸的下降拋物麯線.在邊界滑移條件下,分析瞭平行平闆微型槽在應用中由于微型槽中壓力分佈變化形成的氣體阻尼問題,分析結果錶明無滑移邊界條件在微呎度流動分析中不再適用.
대평행평판미형조중기체활이류동적압강분포특성진행료연구.장압강화기체평균분자자유정적관계인입도일계속도활이변계조건중,구해Navier-Stokes방정,득도료현식적압강분포표체식.모의계산결과표명,평행평판간활이류동적기체압강분포곡선시상철적하강포물곡선.재변계활이조건하,분석료평행평판미형조재응용중유우미형조중압력분포변화형성적기체조니문제,분석결과표명무활이변계조건재미척도류동분석중불재괄용.
