应用移相干涉术测量量块长度和长度变动量
응용이상간섭술측량량괴장도화장도변동량
Dynamic Argument Using Shift Phase Interferometry
  • 万方数据
    光学学报 광학학보
    ACTA OPTICA SINICA
    2002年 2期 249-252 ,共4页

    葛爱明%陈进榜%陈磊%朱日宏%严家骅%牛立新%朱振宇%任冬梅

    갈애명%진진방%진뢰%주일굉%엄가화%우립신%주진우%임동매

    量块%长度变动量%移相干涉术 量塊%長度變動量%移相榦涉術
    량괴%장도변동량%이상간섭술
    研究了应用移相干涉术测量新的一等量块的方法.对于干涉图像进行多幅图的采样,由移相法计算量块测量面和与其研合的辅助平晶表面的波面面形,着重研究了在量块干涉图中有阶跃不连续的波面复原运算的原理与技术,得到一幅表征它们表面的离散波差值,并给出量块工作面长度和长度变动量的测量结果.
    연구료응용이상간섭술측량신적일등량괴적방법.대우간섭도상진행다폭도적채양,유이상법계산량괴측량면화여기연합적보조평정표면적파면면형,착중연구료재량괴간섭도중유계약불련속적파면복원운산적원리여기술,득도일폭표정타문표면적리산파차치,병급출량괴공작면장도화장도변동량적측량결과.
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