红外技术
紅外技術
홍외기술
INFRARED TECHNOLOGY
2003年
6期
54-58
,共5页
黄江平%杨春丽%黎力%杨登全%张丽华%李玉英
黃江平%楊春麗%黎力%楊登全%張麗華%李玉英
황강평%양춘려%려력%양등전%장려화%리옥영
焦平面%非制冷探测器%铟膜%铟柱%倒装互连
焦平麵%非製冷探測器%銦膜%銦柱%倒裝互連
초평면%비제랭탐측기%인막%인주%도장호련
着重介绍了我们在"128×128混合式热释电非致冷焦平面探测器列阵(UFPA)"研制中铟膜及铟柱的制备和我们选择铟做混合式UFPA互连材料的理由与互连方法.强调了铟膜制备基本工艺要求.根据薄膜均匀性要求,计算出了蒸发源距工件的距离及所需材料量,确定了保证铟膜不氧化的关键数据及具体操作.文中给出了铟柱列阵显微照片(显示了铟膜厚度)和铟柱列阵的立体形貌像,还介绍了铟柱列阵成型方法及铟柱生长工艺流程,并叙述了倒装互连技术,且给出了我们的成像演示照片和器件照片,展示了UFPA的应用前景.
著重介紹瞭我們在"128×128混閤式熱釋電非緻冷焦平麵探測器列陣(UFPA)"研製中銦膜及銦柱的製備和我們選擇銦做混閤式UFPA互連材料的理由與互連方法.彊調瞭銦膜製備基本工藝要求.根據薄膜均勻性要求,計算齣瞭蒸髮源距工件的距離及所需材料量,確定瞭保證銦膜不氧化的關鍵數據及具體操作.文中給齣瞭銦柱列陣顯微照片(顯示瞭銦膜厚度)和銦柱列陣的立體形貌像,還介紹瞭銦柱列陣成型方法及銦柱生長工藝流程,併敘述瞭倒裝互連技術,且給齣瞭我們的成像縯示照片和器件照片,展示瞭UFPA的應用前景.
착중개소료아문재"128×128혼합식열석전비치랭초평면탐측기렬진(UFPA)"연제중인막급인주적제비화아문선택인주혼합식UFPA호련재료적이유여호련방법.강조료인막제비기본공예요구.근거박막균균성요구,계산출료증발원거공건적거리급소수재료량,학정료보증인막불양화적관건수거급구체조작.문중급출료인주렬진현미조편(현시료인막후도)화인주렬진적입체형모상,환개소료인주렬진성형방법급인주생장공예류정,병서술료도장호련기술,차급출료아문적성상연시조편화기건조편,전시료UFPA적응용전경.
