现代电子技术
現代電子技術
현대전자기술
MODERN ELECTRONICS TECHNIQUE
2008年
11期
133-134,142
,共3页
高纯气体%微量水%微量氧%自动检测
高純氣體%微量水%微量氧%自動檢測
고순기체%미량수%미량양%자동검측
介绍了一种具有实时在线测量功能的高纯气体微量水微量氧自动检测装置,详细阐述了该装置的结构组成和性能特点,包括装置的硬件系统、软件系统、主要技术指标及研制过程中解决的关键技术和创新点.实践表明,此微量水微量氧自动检测装置成本较低、性能稳定可靠、精度较高,实现了小型化、自动化和智能化.
介紹瞭一種具有實時在線測量功能的高純氣體微量水微量氧自動檢測裝置,詳細闡述瞭該裝置的結構組成和性能特點,包括裝置的硬件繫統、軟件繫統、主要技術指標及研製過程中解決的關鍵技術和創新點.實踐錶明,此微量水微量氧自動檢測裝置成本較低、性能穩定可靠、精度較高,實現瞭小型化、自動化和智能化.
개소료일충구유실시재선측량공능적고순기체미량수미량양자동검측장치,상세천술료해장치적결구조성화성능특점,포괄장치적경건계통、연건계통、주요기술지표급연제과정중해결적관건기술화창신점.실천표명,차미량수미량양자동검측장치성본교저、성능은정가고、정도교고,실현료소형화、자동화화지능화.
