中国有色金属学报
中國有色金屬學報
중국유색금속학보
THE CHINESE JOURNAL OF NONFERROUS METALS
2008年
6期
1129-1134
,共6页
纳米复合薄膜%Al2O3%聚四氟乙烯%摩擦特性%表面改性
納米複閤薄膜%Al2O3%聚四氟乙烯%摩抆特性%錶麵改性
납미복합박막%Al2O3%취사불을희%마찰특성%표면개성
利用离子注入系统PSⅡ和MEVVA80-10型离子注入机,采用射频磁控溅射和等离子束注入沉积两种技术,制备Ag、Al2O3、PTFE和Al2O3/PTFE纳米复合薄膜.采用XRD、AFM/FFM和纳米探针测试方法,研究5种薄膜改性聚四氟乙烯(PTFE)表面微摩擦学特性的效果.结果表明:在相同磨损测试条件下,离子注入技术制备的Al2O3/PTFE纳米复合薄膜的损伤深度比其他样品的浅,样品的耐磨性至少增加4倍;铝离子注入Al2O3/PTFE纳米复合膜的化学成分主要是Al、F、C、O和N;除C2F4峰外,还存在AlF3、Al2O3和AlN峰,且Al2O3为γ相,呈体心立方结构;薄膜硬度达到0.15、0.19和0.65 Gpa;弹性模量为0.9、1.5和2.2 Gpa.
利用離子註入繫統PSⅡ和MEVVA80-10型離子註入機,採用射頻磁控濺射和等離子束註入沉積兩種技術,製備Ag、Al2O3、PTFE和Al2O3/PTFE納米複閤薄膜.採用XRD、AFM/FFM和納米探針測試方法,研究5種薄膜改性聚四氟乙烯(PTFE)錶麵微摩抆學特性的效果.結果錶明:在相同磨損測試條件下,離子註入技術製備的Al2O3/PTFE納米複閤薄膜的損傷深度比其他樣品的淺,樣品的耐磨性至少增加4倍;鋁離子註入Al2O3/PTFE納米複閤膜的化學成分主要是Al、F、C、O和N;除C2F4峰外,還存在AlF3、Al2O3和AlN峰,且Al2O3為γ相,呈體心立方結構;薄膜硬度達到0.15、0.19和0.65 Gpa;彈性模量為0.9、1.5和2.2 Gpa.
이용리자주입계통PSⅡ화MEVVA80-10형리자주입궤,채용사빈자공천사화등리자속주입침적량충기술,제비Ag、Al2O3、PTFE화Al2O3/PTFE납미복합박막.채용XRD、AFM/FFM화납미탐침측시방법,연구5충박막개성취사불을희(PTFE)표면미마찰학특성적효과.결과표명:재상동마손측시조건하,리자주입기술제비적Al2O3/PTFE납미복합박막적손상심도비기타양품적천,양품적내마성지소증가4배;려리자주입Al2O3/PTFE납미복합막적화학성분주요시Al、F、C、O화N;제C2F4봉외,환존재AlF3、Al2O3화AlN봉,차Al2O3위γ상,정체심립방결구;박막경도체도0.15、0.19화0.65 Gpa;탄성모량위0.9、1.5화2.2 Gpa.
