激光技术
激光技術
격광기술
LASER TECHNOLOGY
2010年
5期
647-649
,共3页
袁春华%李晓红%唐多昌%杨宏道
袁春華%李曉紅%唐多昌%楊宏道
원춘화%리효홍%당다창%양굉도
激光物理%表面微结构%纳秒激光辐照%硅
激光物理%錶麵微結構%納秒激光輻照%硅
격광물리%표면미결구%납초격광복조%규
为了研究特定气氛下激光辐照对单晶硅表面微结构的影响,采用红外(基频波长1064nm)和紫外(3次谐波波长355nm)YAG纳秒激光脉冲连续辐照方法,分别在SF6、空气、N2和真空环境下对硅表面微结构进行了实验研究.得到红外纳秒激光在SF6和空气中形成的微结构较真空和N2下有更高的纵横比;紫外纳秒激光在SF6和真空中产生的锥形结构比N2和空气中要更为显著,但SF6中形成的微结构上有絮状物的结果.结果表明,激光波长和环境气氛对微结构的形成起着决定性作用,且激光辅助化学刻蚀的效率不同.该结果对深入研究纳秒激光在特定气氛下诱导硅表面微结构是有帮助的.
為瞭研究特定氣氛下激光輻照對單晶硅錶麵微結構的影響,採用紅外(基頻波長1064nm)和紫外(3次諧波波長355nm)YAG納秒激光脈遲連續輻照方法,分彆在SF6、空氣、N2和真空環境下對硅錶麵微結構進行瞭實驗研究.得到紅外納秒激光在SF6和空氣中形成的微結構較真空和N2下有更高的縱橫比;紫外納秒激光在SF6和真空中產生的錐形結構比N2和空氣中要更為顯著,但SF6中形成的微結構上有絮狀物的結果.結果錶明,激光波長和環境氣氛對微結構的形成起著決定性作用,且激光輔助化學刻蝕的效率不同.該結果對深入研究納秒激光在特定氣氛下誘導硅錶麵微結構是有幫助的.
위료연구특정기분하격광복조대단정규표면미결구적영향,채용홍외(기빈파장1064nm)화자외(3차해파파장355nm)YAG납초격광맥충련속복조방법,분별재SF6、공기、N2화진공배경하대규표면미결구진행료실험연구.득도홍외납초격광재SF6화공기중형성적미결구교진공화N2하유경고적종횡비;자외납초격광재SF6화진공중산생적추형결구비N2화공기중요경위현저,단SF6중형성적미결구상유서상물적결과.결과표명,격광파장화배경기분대미결구적형성기착결정성작용,차격광보조화학각식적효솔불동.해결과대심입연구납초격광재특정기분하유도규표면미결구시유방조적.
