中国激光
中國激光
중국격광
CHINESE JOURNAL OF LASERS
2004年
z1期
230-232
,共3页
林志浪%程新利%王永进%张峰
林誌浪%程新利%王永進%張峰
림지랑%정신리%왕영진%장봉
集成光学%脊形光波导%波导损耗
集成光學%脊形光波導%波導損耗
집성광학%척형광파도%파도손모
表面散射损耗与菲涅耳反射损耗是SOI(Silicon-on-msulator)脊形光波导的主要损耗机理.通过降低光波导损耗的研究,在厚膜SOI材料上制备了长度为20 mm,插入损耗小于2.15 dB的单模脊形光波导.
錶麵散射損耗與菲涅耳反射損耗是SOI(Silicon-on-msulator)脊形光波導的主要損耗機理.通過降低光波導損耗的研究,在厚膜SOI材料上製備瞭長度為20 mm,插入損耗小于2.15 dB的單模脊形光波導.
표면산사손모여비열이반사손모시SOI(Silicon-on-msulator)척형광파도적주요손모궤리.통과강저광파도손모적연구,재후막SOI재료상제비료장도위20 mm,삽입손모소우2.15 dB적단모척형광파도.
