福州大学学报（自然科学版）
福州大學學報（自然科學版）
복주대학학보（자연과학판）
JOURNAL OF FUZHOU UNIVERSITY(NATURAL SCIENCE EDITION)
2007年
z1期
11-14
,共4页
姜伟%李书平%刘达艺%康俊勇
薑偉%李書平%劉達藝%康俊勇
강위%리서평%류체예%강준용
色散模型%椭圆偏振光谱仪%AlN%光学常数
色散模型%橢圓偏振光譜儀%AlN%光學常數
색산모형%타원편진광보의%AlN%광학상수
采用椭圆偏振光谱对MOCVD生长的AlN薄膜在波长430～850 nm的光学参数进行了测量.通过建立不同的物理和色散模型,分别考察了薄膜表面和界面的椭偏效应.拟合结果表明,AlN薄膜的物理模型在引入表面层后,两类色散模型拟合的数据均与椭偏光谱实验数据吻合得很好进一步考虑界面层所拟合的结果显示,界面层对Lorentz色散模型的影响较小,并且,其拟合所得AlN薄膜厚度与扫描电镜所测厚度一致,因此,认为仅含表面层的Lorentz色散模型更简单实用.
採用橢圓偏振光譜對MOCVD生長的AlN薄膜在波長430～850 nm的光學參數進行瞭測量.通過建立不同的物理和色散模型,分彆攷察瞭薄膜錶麵和界麵的橢偏效應.擬閤結果錶明,AlN薄膜的物理模型在引入錶麵層後,兩類色散模型擬閤的數據均與橢偏光譜實驗數據吻閤得很好進一步攷慮界麵層所擬閤的結果顯示,界麵層對Lorentz色散模型的影響較小,併且,其擬閤所得AlN薄膜厚度與掃描電鏡所測厚度一緻,因此,認為僅含錶麵層的Lorentz色散模型更簡單實用.
채용타원편진광보대MOCVD생장적AlN박막재파장430～850 nm적광학삼수진행료측량.통과건립불동적물리화색산모형,분별고찰료박막표면화계면적타편효응.의합결과표명,AlN박막적물리모형재인입표면층후,량류색산모형의합적수거균여타편광보실험수거문합득흔호진일보고필계면층소의합적결과현시,계면층대Lorentz색산모형적영향교소,병차,기의합소득AlN박막후도여소묘전경소측후도일치,인차,인위부함표면층적Lorentz색산모형경간단실용.
