材料科学与工程学报
材料科學與工程學報
재료과학여공정학보
MATERIALS SCIENCE AND ENGINEERING
2008年
4期
585-588
,共4页
王婷%余志明%游小龙%丰杰
王婷%餘誌明%遊小龍%豐傑
왕정%여지명%유소룡%봉걸
HFCVD%形核密度%金刚石薄膜%Mo基体
HFCVD%形覈密度%金剛石薄膜%Mo基體
HFCVD%형핵밀도%금강석박막%Mo기체
采用热丝化学气相沉积(HFCVD)方法在Mo基体上沉积金刚石薄膜,使用扫描电镜(SEM)和X射线衍射(XRD)对薄膜样品进行分析检测,研究了表面形核密度随碳源浓度的变化.结果表明:随着碳源浓度增加表面形核密度增大,当碳源浓度达到3%时,表面形核密度质量最佳,当浓度进一步增大时,形核密度下降;随着碳源浓度增加,生长加快,当生长过快时影响形核过程,形核密度下降.
採用熱絲化學氣相沉積(HFCVD)方法在Mo基體上沉積金剛石薄膜,使用掃描電鏡(SEM)和X射線衍射(XRD)對薄膜樣品進行分析檢測,研究瞭錶麵形覈密度隨碳源濃度的變化.結果錶明:隨著碳源濃度增加錶麵形覈密度增大,噹碳源濃度達到3%時,錶麵形覈密度質量最佳,噹濃度進一步增大時,形覈密度下降;隨著碳源濃度增加,生長加快,噹生長過快時影響形覈過程,形覈密度下降.
채용열사화학기상침적(HFCVD)방법재Mo기체상침적금강석박막,사용소묘전경(SEM)화X사선연사(XRD)대박막양품진행분석검측,연구료표면형핵밀도수탄원농도적변화.결과표명:수착탄원농도증가표면형핵밀도증대,당탄원농도체도3%시,표면형핵밀도질량최가,당농도진일보증대시,형핵밀도하강;수착탄원농도증가,생장가쾌,당생장과쾌시영향형핵과정,형핵밀도하강.
