材料导报
材料導報
재료도보
MATERIALS REVIEW
2009年
9期
98-103,112
,共7页
陈新亮%薛俊明%赵颖%耿新华
陳新亮%薛俊明%趙穎%耿新華
진신량%설준명%조영%경신화
ZnO薄膜%透明导电氧化物-TCO%绒面结构%薄膜太阳电池
ZnO薄膜%透明導電氧化物-TCO%絨麵結構%薄膜太暘電池
ZnO박막%투명도전양화물-TCO%융면결구%박막태양전지
概括阐述了薄膜太阳电池用绒面结构ZnO透明导电薄膜(ZnO-TCO)方面的最新研究进展.绒面结构ZnO-TCO薄膜可以提高薄膜太阳电池效率和稳定性并降低生产成本.磁控溅射技术和MOCVD(Lp-MOCVD/LPCVD)技术是制备绒面结构ZnO-TCO薄膜(例如"弹坑"状和"类金字塔"状表面)的主流生长技术,而喷雾热分解技术则是正在开发的非真空法低成本工艺路线.论述了2种主流技术生长ZnO-TCO薄膜的发展历程,并重点讨论了近期关于绒面ZnO-TCO薄膜微观结构、电学以及光学等特性与工艺关系的研究结果.进一步降低成本和实现大面积产业化是绒面ZnO-TCD薄膜拓展应用的发展趋势.
概括闡述瞭薄膜太暘電池用絨麵結構ZnO透明導電薄膜(ZnO-TCO)方麵的最新研究進展.絨麵結構ZnO-TCO薄膜可以提高薄膜太暘電池效率和穩定性併降低生產成本.磁控濺射技術和MOCVD(Lp-MOCVD/LPCVD)技術是製備絨麵結構ZnO-TCO薄膜(例如"彈坑"狀和"類金字塔"狀錶麵)的主流生長技術,而噴霧熱分解技術則是正在開髮的非真空法低成本工藝路線.論述瞭2種主流技術生長ZnO-TCO薄膜的髮展歷程,併重點討論瞭近期關于絨麵ZnO-TCO薄膜微觀結構、電學以及光學等特性與工藝關繫的研究結果.進一步降低成本和實現大麵積產業化是絨麵ZnO-TCD薄膜拓展應用的髮展趨勢.
개괄천술료박막태양전지용융면결구ZnO투명도전박막(ZnO-TCO)방면적최신연구진전.융면결구ZnO-TCO박막가이제고박막태양전지효솔화은정성병강저생산성본.자공천사기술화MOCVD(Lp-MOCVD/LPCVD)기술시제비융면결구ZnO-TCO박막(례여"탄갱"상화"류금자탑"상표면)적주류생장기술,이분무열분해기술칙시정재개발적비진공법저성본공예로선.논술료2충주류기술생장ZnO-TCO박막적발전역정,병중점토론료근기관우융면ZnO-TCO박막미관결구、전학이급광학등특성여공예관계적연구결과.진일보강저성본화실현대면적산업화시융면ZnO-TCD박막탁전응용적발전추세.
