芯片级全固化集成光波导陀螺
심편급전고화집성광파도타라
All-solid integrated optical waveguide Gyro based on chip
  • 万方数据
    红外与激光工程 홍외여격광공정
    INFRARED AND LASER ENGINEERING
    2011年 5期 921-925 ,共5页

    闫树斌%赵敏%刘正%李杰%严英占%薛晨阳%刘俊

    염수빈%조민%류정%리걸%엄영점%설신양%류준

    集成光波导%透射谱%耦合传输%微光-机-电陀螺 集成光波導%透射譜%耦閤傳輸%微光-機-電陀螺
    집성광파도%투사보%우합전수%미광-궤-전타라
    高灵敏、全固态、集成制造的微光-机-电陀螺是未来发展的新一代惯性器件,在深空探测、载人航天以及飞行器制导技术领域具有迫切应用需求.提出基于光波导微腔透射谱输出特性的惯性测量方法与系统基础结构,并对其惯性测量原理、微加工工艺以及耦合性能进行了讨论.利用数值拟合得到波导耦合系统设计优化参数,采用激光熔融热处理技术,降低了波导表面粗糙度,测试获得品质因数约为108的高Q值微腔,为芯片级全固化集成光波导陀螺的制造奠定了基础.
    고령민、전고태、집성제조적미광-궤-전타라시미래발전적신일대관성기건,재심공탐측、재인항천이급비행기제도기술영역구유박절응용수구.제출기우광파도미강투사보수출특성적관성측량방법여계통기출결구,병대기관성측량원리、미가공공예이급우합성능진행료토론.이용수치의합득도파도우합계통설계우화삼수,채용격광용융열처리기술,강저료파도표면조조도,측시획득품질인수약위108적고Q치미강,위심편급전고화집성광파도타라적제조전정료기출.
    원문보기 원문다운로드 사이트로이동
저자의 최근 논문