安徽理工大学学报（自然科学版）
安徽理工大學學報（自然科學版）
안휘리공대학학보（자연과학판）
JOURNAL OF ANHUI UNIVERSITY OF SCIENCE AND TECHNOLOGY(NATURAL SCIENCE)
2011年
3期
17-21
,共5页
陈兆权%胡业林%洪伶俐%杨岸%郑晓亮%李平%黄友锐
陳兆權%鬍業林%洪伶俐%楊岸%鄭曉亮%李平%黃友銳
진조권%호업림%홍령리%양안%정효량%리평%황우예
有限元法%表面波%等离子体%数值模拟
有限元法%錶麵波%等離子體%數值模擬
유한원법%표면파%등리자체%수치모의
工业用平板型表面波等离子体( SWP)源具有大面积、高密度、高活性等优良性能,其建造之前必须进行结构优化,而对表面电磁波的数值模拟,可以辅助其优化设计.基于有限元法( FEM),采用Ansoft HFSS模拟软件,数值仿真了大面积矩形SWP源的电磁场空间分布.研究了开槽天线激发表面波场的特性,得出了表面波场的空间分布,与理论分析和实验结果进行了对比,解释了表面波放电的实验现象.研究结果表明在石英-等离子体界面有表面电磁波存在,且分布均匀.研究成果为大面积高效等离子体工艺的产业应用提供建议,也为下一代超大面积SWP源的成功建造提供了有益借鉴.
工業用平闆型錶麵波等離子體( SWP)源具有大麵積、高密度、高活性等優良性能,其建造之前必鬚進行結構優化,而對錶麵電磁波的數值模擬,可以輔助其優化設計.基于有限元法( FEM),採用Ansoft HFSS模擬軟件,數值倣真瞭大麵積矩形SWP源的電磁場空間分佈.研究瞭開槽天線激髮錶麵波場的特性,得齣瞭錶麵波場的空間分佈,與理論分析和實驗結果進行瞭對比,解釋瞭錶麵波放電的實驗現象.研究結果錶明在石英-等離子體界麵有錶麵電磁波存在,且分佈均勻.研究成果為大麵積高效等離子體工藝的產業應用提供建議,也為下一代超大麵積SWP源的成功建造提供瞭有益藉鑒.
공업용평판형표면파등리자체( SWP)원구유대면적、고밀도、고활성등우량성능,기건조지전필수진행결구우화,이대표면전자파적수치모의,가이보조기우화설계.기우유한원법( FEM),채용Ansoft HFSS모의연건,수치방진료대면적구형SWP원적전자장공간분포.연구료개조천선격발표면파장적특성,득출료표면파장적공간분포,여이론분석화실험결과진행료대비,해석료표면파방전적실험현상.연구결과표명재석영-등리자체계면유표면전자파존재,차분포균균.연구성과위대면적고효등리자체공예적산업응용제공건의,야위하일대초대면적SWP원적성공건조제공료유익차감.
