传感器技术
傳感器技術
전감기기술
JOURNAL OF TRANSDUCER TECHNOLOGY
2003年
7期
77-80
,共4页
刘晓为%邓琴%郭猛%兰慕杰%王喜莲
劉曉為%鄧琴%郭猛%蘭慕傑%王喜蓮
류효위%산금%곽맹%란모걸%왕희련
微电源%微燃料电池%体硅加工
微電源%微燃料電池%體硅加工
미전원%미연료전지%체규가공
结合目前国内外各种微电源的发展现状,总结微电源的研究成果,从理论上探讨了利用MEMS体硅加工工艺制作微燃料电池的可行性.指出了MEMS燃料电池的发展趋势,并对MEMS燃料电池研制过程中可能出现的困难提出了相应的解决方案.
結閤目前國內外各種微電源的髮展現狀,總結微電源的研究成果,從理論上探討瞭利用MEMS體硅加工工藝製作微燃料電池的可行性.指齣瞭MEMS燃料電池的髮展趨勢,併對MEMS燃料電池研製過程中可能齣現的睏難提齣瞭相應的解決方案.
결합목전국내외각충미전원적발전현상,총결미전원적연구성과,종이론상탐토료이용MEMS체규가공공예제작미연료전지적가행성.지출료MEMS연료전지적발전추세,병대MEMS연료전지연제과정중가능출현적곤난제출료상응적해결방안.
