真空科学与技术学报
真空科學與技術學報
진공과학여기술학보
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE AND TECHNOLOGY
2004年
4期
296-298
,共3页
欧阳斯可%汪涛%戴永兵%吴建生%何贤昶%沈荷生
歐暘斯可%汪濤%戴永兵%吳建生%何賢昶%瀋荷生
구양사가%왕도%대영병%오건생%하현창%침하생
微波等离子体%微波加热%钛%金属硅化物
微波等離子體%微波加熱%鈦%金屬硅化物
미파등리자체%미파가열%태%금속규화물
采用微波等离子体退火方法使溅射的金属Ti膜与Si(111)衬底发生固相反应,直接生成低阻态的金属硅化物薄膜,XRD检测显示最终生成的C54相TiSi2在Si(111)衬底上有明显的织构,证明了微波等离子体退火应用于钛的硅化工艺中的可行性.
採用微波等離子體退火方法使濺射的金屬Ti膜與Si(111)襯底髮生固相反應,直接生成低阻態的金屬硅化物薄膜,XRD檢測顯示最終生成的C54相TiSi2在Si(111)襯底上有明顯的織構,證明瞭微波等離子體退火應用于鈦的硅化工藝中的可行性.
채용미파등리자체퇴화방법사천사적금속Ti막여Si(111)츤저발생고상반응,직접생성저조태적금속규화물박막,XRD검측현시최종생성적C54상TiSi2재Si(111)츤저상유명현적직구,증명료미파등리자체퇴화응용우태적규화공예중적가행성.
