兵器材料科学与工程
兵器材料科學與工程
병기재료과학여공정
Ordnance Material Science and Engineering
2005年
3期
48-53
,共6页
张新%高勇%王彩琳%邢昆山%安涛
張新%高勇%王綵琳%邢昆山%安濤
장신%고용%왕채림%형곤산%안도
SOI材料技术%SOI结构%兵器微电子技术
SOI材料技術%SOI結構%兵器微電子技術
SOI재료기술%SOI결구%병기미전자기술
随着集成技术进入亚微米阶段,传统的硅基集成电路由于存在闩锁等不利因素,使其应用受到了限制.而基于SOI材料的微电子技术是能突破硅材料与硅集成电路限制的新技术[1],是国际半导体的前沿技术之一,是发展兵器装备用元器件的又一关键材料技术.介绍了SOI材料结构技术用于微电子器件的优势、SOI结构及基于SOI结构材料的兵器微电子技术应用,展望了SOI技术的发展前景.
隨著集成技術進入亞微米階段,傳統的硅基集成電路由于存在閂鎖等不利因素,使其應用受到瞭限製.而基于SOI材料的微電子技術是能突破硅材料與硅集成電路限製的新技術[1],是國際半導體的前沿技術之一,是髮展兵器裝備用元器件的又一關鍵材料技術.介紹瞭SOI材料結構技術用于微電子器件的優勢、SOI結構及基于SOI結構材料的兵器微電子技術應用,展望瞭SOI技術的髮展前景.
수착집성기술진입아미미계단,전통적규기집성전로유우존재산쇄등불리인소,사기응용수도료한제.이기우SOI재료적미전자기술시능돌파규재료여규집성전로한제적신기술[1],시국제반도체적전연기술지일,시발전병기장비용원기건적우일관건재료기술.개소료SOI재료결구기술용우미전자기건적우세、SOI결구급기우SOI결구재료적병기미전자기술응용,전망료SOI기술적발전전경.
