真空
真空
진공
VACUUM
2006年
1期
47-50
,共4页
常海波%徐洮%李红轩%张治军%刘惠文
常海波%徐洮%李紅軒%張治軍%劉惠文
상해파%서조%리홍헌%장치군%류혜문
PECVD%类金刚石薄膜%结构%摩擦学性能
PECVD%類金剛石薄膜%結構%摩抆學性能
PECVD%류금강석박막%결구%마찰학성능
采用射频-直流等离子体增强化学气相沉积技术在单晶硅衬底上沉积了类金刚石薄膜.用激光拉曼光谱仪和原子力显微镜对薄膜的结构和表面形貌进行了表征,并用纳米压痕仪测定了薄膜的硬度.用UMT微摩擦磨损试验机考察了薄膜在不同的滑行速度下薄膜的摩擦学性能.结果表明:所沉积的薄膜具有典型类金刚石薄膜的结构特征,薄膜表面光滑致密,硬度较高;薄膜与氧化铝陶瓷球对磨显示出良好的摩擦学性能,随着滑行速度的增加,薄膜的摩擦系数单调降低,但磨损寿命先增加后降低.
採用射頻-直流等離子體增彊化學氣相沉積技術在單晶硅襯底上沉積瞭類金剛石薄膜.用激光拉曼光譜儀和原子力顯微鏡對薄膜的結構和錶麵形貌進行瞭錶徵,併用納米壓痕儀測定瞭薄膜的硬度.用UMT微摩抆磨損試驗機攷察瞭薄膜在不同的滑行速度下薄膜的摩抆學性能.結果錶明:所沉積的薄膜具有典型類金剛石薄膜的結構特徵,薄膜錶麵光滑緻密,硬度較高;薄膜與氧化鋁陶瓷毬對磨顯示齣良好的摩抆學性能,隨著滑行速度的增加,薄膜的摩抆繫數單調降低,但磨損壽命先增加後降低.
채용사빈-직류등리자체증강화학기상침적기술재단정규츤저상침적료류금강석박막.용격광랍만광보의화원자력현미경대박막적결구화표면형모진행료표정,병용납미압흔의측정료박막적경도.용UMT미마찰마손시험궤고찰료박막재불동적활행속도하박막적마찰학성능.결과표명:소침적적박막구유전형류금강석박막적결구특정,박막표면광활치밀,경도교고;박막여양화려도자구대마현시출량호적마찰학성능,수착활행속도적증가,박막적마찰계수단조강저,단마손수명선증가후강저.
