类金刚石膜的性能、制备与应用(二)
류금강석막적성능、제비여응용(이)
Properties, preparation and applications of diamond-like carbon films
  • 万方数据
    真空 진공
    VACUUM
    2008年 1期 51-55 ,共5页

    祝土富%沈丽如

    축토부%침려여

    类金刚石(DLC)膜%制备方法%性能%应用 類金剛石(DLC)膜%製備方法%性能%應用
    류금강석(DLC)막%제비방법%성능%응용
    类金刚石(DLC)膜是一种含有大量sp3的亚稳态非晶碳薄膜.本文简要地介绍了DLC膜的形成原理、制备方法、发展现状,及其在机械、电子、光学、声学、生物医学等领域的应用与存在的问题.
    류금강석(DLC)막시일충함유대량sp3적아은태비정탄박막.본문간요지개소료DLC막적형성원리、제비방법、발전현상,급기재궤계、전자、광학、성학、생물의학등영역적응용여존재적문제.
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