光子学报
光子學報
광자학보
ACTA PHOTONICA SINICA
2011年
12期
1850-1854
,共5页
干涉光刻%金纳米颗粒胶体%波导耦合金属光子晶体%粒子等离子共振模式%角分辨调谐特性
榦涉光刻%金納米顆粒膠體%波導耦閤金屬光子晶體%粒子等離子共振模式%角分辨調諧特性
간섭광각%금납미과립효체%파도우합금속광자정체%입자등리자공진모식%각분변조해특성
利用激光干涉光刻和金纳米颗粒胶体溶液制备了宽度在100 nm以下且总面积达到平方厘米量级的金纳米线光栅结构.制备过程中,首先在表面镀有厚度约为200 nm的铟锡氧化物薄膜的面积为1 cm×1 cm的玻璃基片表面旋涂光刻胶,然后利用紫外激光干涉光刻制备光刻胶纳米光栅结构.有效控制干涉光刻过程中的曝光量、显影时间,获得小占空比的光刻胶光栅.再以光刻胶纳米光栅作为模板,旋涂金纳米颗粒胶体溶液.充分利用金纳米颗粒胶体溶液在光刻胶表面浸润性差的特点,限制旋涂后留存在光刻胶光栅槽中金纳米颗粒的数量,从而达到限制金纳米线宽度的目的.最后在250℃将样品进行退火处理5 min.获得了周期为400 nm且占空比小于1∶4的金纳米线光栅结构,其有效面积为1 cm2.以波导共振模式与粒子等离子共振模式间耦合作用为特征的光谱学响应特性验证了波导耦合金属光子晶体的成功制备,为小传感体积新型生物传感器的开发提供了性能良好的金属光子晶体芯片.
利用激光榦涉光刻和金納米顆粒膠體溶液製備瞭寬度在100 nm以下且總麵積達到平方釐米量級的金納米線光柵結構.製備過程中,首先在錶麵鍍有厚度約為200 nm的銦錫氧化物薄膜的麵積為1 cm×1 cm的玻璃基片錶麵鏇塗光刻膠,然後利用紫外激光榦涉光刻製備光刻膠納米光柵結構.有效控製榦涉光刻過程中的曝光量、顯影時間,穫得小佔空比的光刻膠光柵.再以光刻膠納米光柵作為模闆,鏇塗金納米顆粒膠體溶液.充分利用金納米顆粒膠體溶液在光刻膠錶麵浸潤性差的特點,限製鏇塗後留存在光刻膠光柵槽中金納米顆粒的數量,從而達到限製金納米線寬度的目的.最後在250℃將樣品進行退火處理5 min.穫得瞭週期為400 nm且佔空比小于1∶4的金納米線光柵結構,其有效麵積為1 cm2.以波導共振模式與粒子等離子共振模式間耦閤作用為特徵的光譜學響應特性驗證瞭波導耦閤金屬光子晶體的成功製備,為小傳感體積新型生物傳感器的開髮提供瞭性能良好的金屬光子晶體芯片.
이용격광간섭광각화금납미과립효체용액제비료관도재100 nm이하차총면적체도평방전미량급적금납미선광책결구.제비과정중,수선재표면도유후도약위200 nm적인석양화물박막적면적위1 cm×1 cm적파리기편표면선도광각효,연후이용자외격광간섭광각제비광각효납미광책결구.유효공제간섭광각과정중적폭광량、현영시간,획득소점공비적광각효광책.재이광각효납미광책작위모판,선도금납미과립효체용액.충분이용금납미과립효체용액재광각효표면침윤성차적특점,한제선도후류존재광각효광책조중금납미과립적수량,종이체도한제금납미선관도적목적.최후재250℃장양품진행퇴화처리5 min.획득료주기위400 nm차점공비소우1∶4적금납미선광책결구,기유효면적위1 cm2.이파도공진모식여입자등리자공진모식간우합작용위특정적광보학향응특성험증료파도우합금속광자정체적성공제비,위소전감체적신형생물전감기적개발제공료성능량호적금속광자정체심편.
