微细加工技术
微細加工技術
미세가공기술
MICROFABRICATION TECHNOLOGY
2000年
1期
10-15
,共6页
李红军%李凤有%于利民%曹颖静%卢振武%廖江红%翁志成
李紅軍%李鳳有%于利民%曹穎靜%盧振武%廖江紅%翁誌成
리홍군%리봉유%우이민%조영정%로진무%료강홍%옹지성
二元光学%衍射光学元件%二元光学元件加工%激光直写%灰度掩模
二元光學%衍射光學元件%二元光學元件加工%激光直寫%灰度掩模
이원광학%연사광학원건%이원광학원건가공%격광직사%회도엄모
二元光学被誉为"1990年代的光学技术",在国防、科研、生产等领域都显示出广阔的应用前景.衍射光学元件有很多制作方法,比较成熟的有二元光学元件加工方法和激光或电子束直写技术加工方法.二元光学元件加工方法存在周期长、成本高且对准较困难的缺点.激光或电子束直写技术所需设备比较昂贵,只适合高精度单件生产.介绍了近来发展起来的另一种比较有前途的加工方法一灰度掩模法,并展望了其发展前景.
二元光學被譽為"1990年代的光學技術",在國防、科研、生產等領域都顯示齣廣闊的應用前景.衍射光學元件有很多製作方法,比較成熟的有二元光學元件加工方法和激光或電子束直寫技術加工方法.二元光學元件加工方法存在週期長、成本高且對準較睏難的缺點.激光或電子束直寫技術所需設備比較昂貴,隻適閤高精度單件生產.介紹瞭近來髮展起來的另一種比較有前途的加工方法一灰度掩模法,併展望瞭其髮展前景.
이원광학피예위"1990년대적광학기술",재국방、과연、생산등영역도현시출엄활적응용전경.연사광학원건유흔다제작방법,비교성숙적유이원광학원건가공방법화격광혹전자속직사기술가공방법.이원광학원건가공방법존재주기장、성본고차대준교곤난적결점.격광혹전자속직사기술소수설비비교앙귀,지괄합고정도단건생산.개소료근래발전기래적령일충비교유전도적가공방법일회도엄모법,병전망료기발전전경.
