仪表技术与传感器
儀錶技術與傳感器
의표기술여전감기
INSTRUMENT TECHNIQUE AND SENSOR
2001年
4期
40-41
,共2页
徐宁%胡桅林%过增元
徐寧%鬍桅林%過增元
서저%호외림%과증원
微型泵%模拟%优化
微型泵%模擬%優化
미형빙%모의%우화
MEMS%Micropump%Simulation%Optimization
文中给出了对一种热驱动薄膜式微泵的数值模拟的方法与结果。
文中給齣瞭對一種熱驅動薄膜式微泵的數值模擬的方法與結果。
문중급출료대일충열구동박막식미빙적수치모의적방법여결과。
A simulation method for exploring the temperature and vibration responses of a thermally actuated membrane micropump is proposed and the micropump was numerically analyzed to optimize the work condition.