光子学报
光子學報
광자학보
ACTA PHOTONICA SINICA
2005年
5期
734-736
,共3页
蔡长龙%刁东风%三宅正司%松本武
蔡長龍%刁東風%三宅正司%鬆本武
채장룡%조동풍%삼택정사%송본무
MCECR溅射%硬碳膜%摩擦特性%纳米硬度%薄膜结构
MCECR濺射%硬碳膜%摩抆特性%納米硬度%薄膜結構
MCECR천사%경탄막%마찰특성%납미경도%박막결구
采用封闭式电子回旋共振(MCECR)氩等离子体溅射碳靶的方法在硅片上沉积了高质量的硬碳膜,膜层厚度约40 nm. 使用X射线光电子能谱仪(XPS)和高分辨率透射电子显微镜(HRTEM)分析了碳膜结构,并用POD摩擦磨损仪测试了碳膜的摩擦磨损特性,用纳米压入仪测试了碳膜的纳米硬度.详细研究了基片偏压对碳膜的结构、摩擦磨损特性以及纳米硬度的影响,得到了最佳基片偏压.
採用封閉式電子迴鏇共振(MCECR)氬等離子體濺射碳靶的方法在硅片上沉積瞭高質量的硬碳膜,膜層厚度約40 nm. 使用X射線光電子能譜儀(XPS)和高分辨率透射電子顯微鏡(HRTEM)分析瞭碳膜結構,併用POD摩抆磨損儀測試瞭碳膜的摩抆磨損特性,用納米壓入儀測試瞭碳膜的納米硬度.詳細研究瞭基片偏壓對碳膜的結構、摩抆磨損特性以及納米硬度的影響,得到瞭最佳基片偏壓.
채용봉폐식전자회선공진(MCECR)아등리자체천사탄파적방법재규편상침적료고질량적경탄막,막층후도약40 nm. 사용X사선광전자능보의(XPS)화고분변솔투사전자현미경(HRTEM)분석료탄막결구,병용POD마찰마손의측시료탄막적마찰마손특성,용납미압입의측시료탄막적납미경도.상세연구료기편편압대탄막적결구、마찰마손특성이급납미경도적영향,득도료최가기편편압.
