实验科学与技术
實驗科學與技術
실험과학여기술
EXPERIMENT SCIENCE AND TECHNOLOGY
2006年
1期
31-32,43
,共3页
刘宗贺%方雪冰%刘波%凌味未
劉宗賀%方雪冰%劉波%凌味未
류종하%방설빙%류파%릉미미
直流磁控溅射%铬膜%附着性%表面粗糙度%退火%膜厚%离子轰击
直流磁控濺射%鉻膜%附著性%錶麵粗糙度%退火%膜厚%離子轟擊
직류자공천사%락막%부착성%표면조조도%퇴화%막후%리자굉격
讨论了采用直流磁控溅射法在锆合金表面镀铬时,基体的粗糙度、退火工艺、薄膜厚度及溅射前的基体离子轰击对铬薄膜附着性的影响.以自动划痕测试仪测试样品的膜/基结合力,结果表明:退火处理能大幅度增强铬膜的附着性;薄膜厚度的增加却会使其附着性降低;而基体粗糙度对附着性并无大的影响.
討論瞭採用直流磁控濺射法在鋯閤金錶麵鍍鉻時,基體的粗糙度、退火工藝、薄膜厚度及濺射前的基體離子轟擊對鉻薄膜附著性的影響.以自動劃痕測試儀測試樣品的膜/基結閤力,結果錶明:退火處理能大幅度增彊鉻膜的附著性;薄膜厚度的增加卻會使其附著性降低;而基體粗糙度對附著性併無大的影響.
토론료채용직류자공천사법재고합금표면도락시,기체적조조도、퇴화공예、박막후도급천사전적기체리자굉격대락박막부착성적영향.이자동화흔측시의측시양품적막/기결합력,결과표명:퇴화처리능대폭도증강락막적부착성;박막후도적증가각회사기부착성강저;이기체조조도대부착성병무대적영향.
