功能材料
功能材料
공능재료
JOURNAL OF FUNCTIONAL MATERIALS
2008年
5期
744-746,750
,共4页
董凯锋%杨晓非%鄢俊兵%程伟明%程晓敏
董凱鋒%楊曉非%鄢俊兵%程偉明%程曉敏
동개봉%양효비%언준병%정위명%정효민
L10-FePt薄膜%多层膜结构%矫顽力%有序化温度
L10-FePt薄膜%多層膜結構%矯頑力%有序化溫度
L10-FePt박막%다층막결구%교완력%유서화온도
采用射频磁控溅射的方法,在玻璃基片上制备了不同膜层结构的[Fe/Pt]n多层膜,经不同温度真空热处理后,得到L10有序结构的FePt薄膜.实验结果表明,[Fe/Pt]n多层膜结构可以有效降低FePt薄膜的有序化温度,350℃退火30min后其平行膜面矫顽力可达1.6×105A/m;多层膜结构中,Pt层厚度与Fe层厚度相同时,矫顽力最大,当Fe、Pt层厚度比偏离1:1时,在Fe/Pt接触处易产生Fe3Pt和FePt3软磁相;Pt层和Fe层厚度相等且总厚度相同的情况下,Fe、Pt单层厚度越薄,有序化温度越低,且对应的矫顽力大.
採用射頻磁控濺射的方法,在玻璃基片上製備瞭不同膜層結構的[Fe/Pt]n多層膜,經不同溫度真空熱處理後,得到L10有序結構的FePt薄膜.實驗結果錶明,[Fe/Pt]n多層膜結構可以有效降低FePt薄膜的有序化溫度,350℃退火30min後其平行膜麵矯頑力可達1.6×105A/m;多層膜結構中,Pt層厚度與Fe層厚度相同時,矯頑力最大,噹Fe、Pt層厚度比偏離1:1時,在Fe/Pt接觸處易產生Fe3Pt和FePt3軟磁相;Pt層和Fe層厚度相等且總厚度相同的情況下,Fe、Pt單層厚度越薄,有序化溫度越低,且對應的矯頑力大.
채용사빈자공천사적방법,재파리기편상제비료불동막층결구적[Fe/Pt]n다층막,경불동온도진공열처리후,득도L10유서결구적FePt박막.실험결과표명,[Fe/Pt]n다층막결구가이유효강저FePt박막적유서화온도,350℃퇴화30min후기평행막면교완력가체1.6×105A/m;다층막결구중,Pt층후도여Fe층후도상동시,교완력최대,당Fe、Pt층후도비편리1:1시,재Fe/Pt접촉처역산생Fe3Pt화FePt3연자상;Pt층화Fe층후도상등차총후도상동적정황하,Fe、Pt단층후도월박,유서화온도월저,차대응적교완력대.
