人工晶体学报
人工晶體學報
인공정체학보
2008年
3期
689-693,698
,共6页
邢文娟%汪建华%王传新%皮华滨%余学超
邢文娟%汪建華%王傳新%皮華濱%餘學超
형문연%왕건화%왕전신%피화빈%여학초
氧等离子体%金刚石薄膜%硬质合金刀具%附着性能
氧等離子體%金剛石薄膜%硬質閤金刀具%附著性能
양등리자체%금강석박막%경질합금도구%부착성능
本文采用微波氧等离子体刻蚀硬质合金基体表面,再利用热的浓碱溶液清除硬质合金表面所形成的氧化物,通过扫描电镜(SEM)观察了试样表面情况,并通过X射线能谱(EDAX)分析了硬质合金表面各成分变化情况.经过预处理的试样采用热丝化学气相沉积(HFCVD)金刚石薄膜,对所沉积出的金刚石薄膜采用SEM观察及压痕测试,发现经过氧等离子体处理的金刚石刀具较两步酸蚀法处理过的金刚石薄膜涂层,其附着性能有较大提高.
本文採用微波氧等離子體刻蝕硬質閤金基體錶麵,再利用熱的濃堿溶液清除硬質閤金錶麵所形成的氧化物,通過掃描電鏡(SEM)觀察瞭試樣錶麵情況,併通過X射線能譜(EDAX)分析瞭硬質閤金錶麵各成分變化情況.經過預處理的試樣採用熱絲化學氣相沉積(HFCVD)金剛石薄膜,對所沉積齣的金剛石薄膜採用SEM觀察及壓痕測試,髮現經過氧等離子體處理的金剛石刀具較兩步痠蝕法處理過的金剛石薄膜塗層,其附著性能有較大提高.
본문채용미파양등리자체각식경질합금기체표면,재이용열적농감용액청제경질합금표면소형성적양화물,통과소묘전경(SEM)관찰료시양표면정황,병통과X사선능보(EDAX)분석료경질합금표면각성분변화정황.경과예처리적시양채용열사화학기상침적(HFCVD)금강석박막,대소침적출적금강석박막채용SEM관찰급압흔측시,발현경과양등리자체처리적금강석도구교량보산식법처리과적금강석박막도층,기부착성능유교대제고.
