科学技术与工程
科學技術與工程
과학기술여공정
SCIENCE TECHNOLOGY AND ENGINEERING
2010年
32期
7881-7885
,共5页
直流磁控反应溅射%氧化铝薄膜%工艺研究%沉积速率
直流磁控反應濺射%氧化鋁薄膜%工藝研究%沉積速率
직류자공반응천사%양화려박막%공예연구%침적속솔
应用直流磁控反应溅射技术在不锈钢基体上制备Al2O3薄膜,研究了溅射气压、氧气流量和基体温度对Al2O3薄膜的沉积速率和膜基结合力的影响规律.结果表明,随着压力的增大,沉积速率和膜基结合力先增大后减小.在压力为1.0 Pa时最大;随着氧气流量的增加,沉积速率和膜基结合力也随之不断减小;随着温度的升高,沉积速率和膜基结合力略有下降.利用扫描电子显微镜观察了薄膜与基体界面及薄膜的表面微观形貌,薄膜与基体的结合性好,薄膜表面晶粒大小均匀,组织致密.
應用直流磁控反應濺射技術在不鏽鋼基體上製備Al2O3薄膜,研究瞭濺射氣壓、氧氣流量和基體溫度對Al2O3薄膜的沉積速率和膜基結閤力的影響規律.結果錶明,隨著壓力的增大,沉積速率和膜基結閤力先增大後減小.在壓力為1.0 Pa時最大;隨著氧氣流量的增加,沉積速率和膜基結閤力也隨之不斷減小;隨著溫度的升高,沉積速率和膜基結閤力略有下降.利用掃描電子顯微鏡觀察瞭薄膜與基體界麵及薄膜的錶麵微觀形貌,薄膜與基體的結閤性好,薄膜錶麵晶粒大小均勻,組織緻密.
응용직류자공반응천사기술재불수강기체상제비Al2O3박막,연구료천사기압、양기류량화기체온도대Al2O3박막적침적속솔화막기결합력적영향규률.결과표명,수착압력적증대,침적속솔화막기결합력선증대후감소.재압력위1.0 Pa시최대;수착양기류량적증가,침적속솔화막기결합력야수지불단감소;수착온도적승고,침적속솔화막기결합력략유하강.이용소묘전자현미경관찰료박막여기체계면급박막적표면미관형모,박막여기체적결합성호,박막표면정립대소균균,조직치밀.
