微纳电子技术
微納電子技術
미납전자기술
MICRONANOELECTRONIC TECHNOLOGY
2010年
11期
696-700
,共5页
李世峰%刘锋%王高峰%叶双莉
李世峰%劉鋒%王高峰%葉雙莉
리세봉%류봉%왕고봉%협쌍리
微机电系统(MEMS)%滤波器%共面波导%连续可调%非均匀分布
微機電繫統(MEMS)%濾波器%共麵波導%連續可調%非均勻分佈
미궤전계통(MEMS)%려파기%공면파도%련속가조%비균균분포
提出了一种采用非均匀分布MEMS结构的可调滤波器设计方案.基于这种新型结构,讨论了一个中心频率为20 GHz的二阶带通可调滤波器模型.通过HFSS对该二阶带通滤波器模型进行了全波分析.仿真结果表明:通过分别改变共面波导结构上方不同部分的MEMS电容高度,该滤波器中心频率在18.71～20.62 GHz连续可调,相应的3 dB带宽值为2.36 GHz和2.94 GHz.该滤波器9.5%的可调率相比于同类型均匀分布式滤波器的可调范围增加了大约18.6%(300 MHz).通过分析可知,采用非均匀分布MEMS结构的可调滤波器不仅结构更紧凑合理,而且获得了比均匀结构更大的调节范围,极大地增加了设计的灵活性.
提齣瞭一種採用非均勻分佈MEMS結構的可調濾波器設計方案.基于這種新型結構,討論瞭一箇中心頻率為20 GHz的二階帶通可調濾波器模型.通過HFSS對該二階帶通濾波器模型進行瞭全波分析.倣真結果錶明:通過分彆改變共麵波導結構上方不同部分的MEMS電容高度,該濾波器中心頻率在18.71～20.62 GHz連續可調,相應的3 dB帶寬值為2.36 GHz和2.94 GHz.該濾波器9.5%的可調率相比于同類型均勻分佈式濾波器的可調範圍增加瞭大約18.6%(300 MHz).通過分析可知,採用非均勻分佈MEMS結構的可調濾波器不僅結構更緊湊閤理,而且穫得瞭比均勻結構更大的調節範圍,極大地增加瞭設計的靈活性.
제출료일충채용비균균분포MEMS결구적가조려파기설계방안.기우저충신형결구,토론료일개중심빈솔위20 GHz적이계대통가조려파기모형.통과HFSS대해이계대통려파기모형진행료전파분석.방진결과표명:통과분별개변공면파도결구상방불동부분적MEMS전용고도,해려파기중심빈솔재18.71～20.62 GHz련속가조,상응적3 dB대관치위2.36 GHz화2.94 GHz.해려파기9.5%적가조솔상비우동류형균균분포식려파기적가조범위증가료대약18.6%(300 MHz).통과분석가지,채용비균균분포MEMS결구적가조려파기불부결구경긴주합리,이차획득료비균균결구경대적조절범위,겁대지증가료설계적령활성.
