电子科技大学学报
電子科技大學學報
전자과기대학학보
JOURNAL OF UNIVERSITY OF ELECTRONIC SCIENCE AND TECHNOLOGY OF CHINA
2011年
6期
933-936
,共4页
魏昭荣%杨定宇%朱兴华%杨维清
魏昭榮%楊定宇%硃興華%楊維清
위소영%양정우%주흥화%양유청
晶体结构%电子束蒸发%MoO3薄膜%表面形貌%紫外-可见透过谱
晶體結構%電子束蒸髮%MoO3薄膜%錶麵形貌%紫外-可見透過譜
정체결구%전자속증발%MoO3박막%표면형모%자외-가견투과보
采用电子束蒸发法在玻璃衬底上制备MoO3薄膜.X射线衍射谱表明制备样品属于正交晶系,沿<010>晶向择优取向生长.随着衬底温度的升高,样品的晶粒尺寸先增大后减小,退火后又增大.此外,样品的(040)衍射峰随衬底温度升高单调向低衍射角方向移动.扫描电镜照片显示制备样品具有针状晶粒特征,退火后晶粒大小的分布趋于均匀.紫外-可见透过谱测试发现,随衬底温度的升高,一方面样品的光吸收边向长波方向移动,透过率降低；另一方面,样品的光学带隙由100℃时的2.93 eV降为300℃时的2.59 eV,经过500℃大气氛围下退火后,光学带隙减小至2.46 eV.
採用電子束蒸髮法在玻璃襯底上製備MoO3薄膜.X射線衍射譜錶明製備樣品屬于正交晶繫,沿<010>晶嚮擇優取嚮生長.隨著襯底溫度的升高,樣品的晶粒呎吋先增大後減小,退火後又增大.此外,樣品的(040)衍射峰隨襯底溫度升高單調嚮低衍射角方嚮移動.掃描電鏡照片顯示製備樣品具有針狀晶粒特徵,退火後晶粒大小的分佈趨于均勻.紫外-可見透過譜測試髮現,隨襯底溫度的升高,一方麵樣品的光吸收邊嚮長波方嚮移動,透過率降低；另一方麵,樣品的光學帶隙由100℃時的2.93 eV降為300℃時的2.59 eV,經過500℃大氣氛圍下退火後,光學帶隙減小至2.46 eV.
채용전자속증발법재파리츤저상제비MoO3박막.X사선연사보표명제비양품속우정교정계,연<010>정향택우취향생장.수착츤저온도적승고,양품적정립척촌선증대후감소,퇴화후우증대.차외,양품적(040)연사봉수츤저온도승고단조향저연사각방향이동.소묘전경조편현시제비양품구유침상정립특정,퇴화후정립대소적분포추우균균.자외-가견투과보측시발현,수츤저온도적승고,일방면양품적광흡수변향장파방향이동,투과솔강저；령일방면,양품적광학대극유100℃시적2.93 eV강위300℃시적2.59 eV,경과500℃대기분위하퇴화후,광학대극감소지2.46 eV.
