传感器与微系统
傳感器與微繫統
전감기여미계통
TRANSDUCER AND MICROSYSTEM TECHNOLOGY
2012年
10期
57-60
,共4页
方兴%李嘉%纪新明%包宗明%黄宜平
方興%李嘉%紀新明%包宗明%黃宜平
방흥%리가%기신명%포종명%황의평
光声传感器%谐振式%频率%灵敏度%信噪比
光聲傳感器%諧振式%頻率%靈敏度%信譟比
광성전감기%해진식%빈솔%령민도%신조비
研究了高灵敏度谐振式红外光声气体传感系统,对系统的谐振频谱进行了测试分析,观察到了新的谐振模式.经过对比,发现选用新的谐振模式具有更高的测试灵敏度和信噪比,新的谐振模式源于两边的缓冲腔体内的谐振.研究了麦克风输出腔体结构对信号的影响,发现增加输出腔内麦克风到谐振腔的距离可显著增加光声信号.另外,在激光出射端口放置反射金属膜也有利于提高光声信号,从而提高系统检测极限.
研究瞭高靈敏度諧振式紅外光聲氣體傳感繫統,對繫統的諧振頻譜進行瞭測試分析,觀察到瞭新的諧振模式.經過對比,髮現選用新的諧振模式具有更高的測試靈敏度和信譟比,新的諧振模式源于兩邊的緩遲腔體內的諧振.研究瞭麥剋風輸齣腔體結構對信號的影響,髮現增加輸齣腔內麥剋風到諧振腔的距離可顯著增加光聲信號.另外,在激光齣射耑口放置反射金屬膜也有利于提高光聲信號,從而提高繫統檢測極限.
연구료고령민도해진식홍외광성기체전감계통,대계통적해진빈보진행료측시분석,관찰도료신적해진모식.경과대비,발현선용신적해진모식구유경고적측시령민도화신조비,신적해진모식원우량변적완충강체내적해진.연구료맥극풍수출강체결구대신호적영향,발현증가수출강내맥극풍도해진강적거리가현저증가광성신호.령외,재격광출사단구방치반사금속막야유리우제고광성신호,종이제고계통검측겁한.
