材料工程
材料工程
재료공정
JOURNAL OF MATERIALS ENGINEERING
2002年
6期
10-13
,共4页
田家万%韩增虎%虞晓江%赖倩茜%李戈扬
田傢萬%韓增虎%虞曉江%賴倩茜%李戈颺
전가만%한증호%우효강%뢰천천%리과양
两步压入法%薄膜%纳米多层膜%超硬效应
兩步壓入法%薄膜%納米多層膜%超硬效應
량보압입법%박막%납미다층막%초경효응
提出了采用毫牛力学探针技术对硬质薄膜的硬度和弹性模量等力学性能进行准确测量的两步压入法,并用此方法研究了(Ti,Al)N/AlN纳米多层膜的硬度和调制周期之间的关系.结果表明,该纳米多层膜体系的硬度和弹性模量随调制周期的减小单调增加, 并在调制周期为1.3nm时达到最高值HV=29.0GPa和E=383.0GPa,表明(Ti,Al)N/AlN纳米多层膜存在超硬度和超模量效应.
提齣瞭採用毫牛力學探針技術對硬質薄膜的硬度和彈性模量等力學性能進行準確測量的兩步壓入法,併用此方法研究瞭(Ti,Al)N/AlN納米多層膜的硬度和調製週期之間的關繫.結果錶明,該納米多層膜體繫的硬度和彈性模量隨調製週期的減小單調增加, 併在調製週期為1.3nm時達到最高值HV=29.0GPa和E=383.0GPa,錶明(Ti,Al)N/AlN納米多層膜存在超硬度和超模量效應.
제출료채용호우역학탐침기술대경질박막적경도화탄성모량등역학성능진행준학측량적량보압입법,병용차방법연구료(Ti,Al)N/AlN납미다층막적경도화조제주기지간적관계.결과표명,해납미다층막체계적경도화탄성모량수조제주기적감소단조증가, 병재조제주기위1.3nm시체도최고치HV=29.0GPa화E=383.0GPa,표명(Ti,Al)N/AlN납미다층막존재초경도화초모량효응.
