稀有金属材料与工程
稀有金屬材料與工程
희유금속재료여공정
RARE METAL MATERIALS AND ENGINEERNG
2005年
7期
1089-1093
,共5页
徐海萍%孙彦平%王俊文%展红全%陈新谋
徐海萍%孫彥平%王俊文%展紅全%陳新謀
서해평%손언평%왕준문%전홍전%진신모
HF-PCVD%TiO2纳米晶%粒径%晶型
HF-PCVD%TiO2納米晶%粒徑%晶型
HF-PCVD%TiO2납미정%립경%정형
以TiCl4和O2为反应体系,采用高频等离子化学气相沉积(HF-PCVD)法制备了晶化完整的锐钛和金红石混晶型TiO2纳米晶,球形体的晶粒分散性良好,分布较为均匀;研究了控制粒径大小和晶相组成的关键反应条件.XPS,TEM,XRD结果显示:增加TiCl4进料量、延长停留时间均利于锐钛相向金红石相转化,但粒径有所增大;添加AlCl3使金红石相含量较未掺杂时有较大幅度提高,且粒径随掺铝量增加而减小.本实验条件下,TiO2纳米晶的粒径为25nm～60 nm,金红石相含量在12.0%～53.6%间可控.
以TiCl4和O2為反應體繫,採用高頻等離子化學氣相沉積(HF-PCVD)法製備瞭晶化完整的銳鈦和金紅石混晶型TiO2納米晶,毬形體的晶粒分散性良好,分佈較為均勻;研究瞭控製粒徑大小和晶相組成的關鍵反應條件.XPS,TEM,XRD結果顯示:增加TiCl4進料量、延長停留時間均利于銳鈦相嚮金紅石相轉化,但粒徑有所增大;添加AlCl3使金紅石相含量較未摻雜時有較大幅度提高,且粒徑隨摻鋁量增加而減小.本實驗條件下,TiO2納米晶的粒徑為25nm～60 nm,金紅石相含量在12.0%～53.6%間可控.
이TiCl4화O2위반응체계,채용고빈등리자화학기상침적(HF-PCVD)법제비료정화완정적예태화금홍석혼정형TiO2납미정,구형체적정립분산성량호,분포교위균균;연구료공제립경대소화정상조성적관건반응조건.XPS,TEM,XRD결과현시:증가TiCl4진료량、연장정류시간균리우예태상향금홍석상전화,단립경유소증대;첨가AlCl3사금홍석상함량교미참잡시유교대폭도제고,차립경수참려량증가이감소.본실험조건하,TiO2납미정적립경위25nm～60 nm,금홍석상함량재12.0%～53.6%간가공.
