材料开发与应用
材料開髮與應用
재료개발여응용
DEVELOPMENT AND APPLICATION OF MATERIALS
2006年
4期
29-32
,共4页
胡界博%王晓娟%娄辉%陈海涛%张伟风
鬍界博%王曉娟%婁輝%陳海濤%張偉風
호계박%왕효연%루휘%진해도%장위풍
ZnO薄膜%晶体结构%光致发光
ZnO薄膜%晶體結構%光緻髮光
ZnO박막%정체결구%광치발광
采用溶胶-凝胶(Sol-Gel)旋涂法在Si(100)衬底上制备ZnO薄膜,利用X射线衍射(XRD)、光致发光谱(PL)、扫描电子显微镜(SEM)等手段分析制得的ZnO薄膜的晶体结构和发光特性.着重考察了热分解温度对ZnO薄膜晶体结构和发光特性的影响.结果表明,溶胶-凝胶旋涂法制备的ZnO薄膜样品厚度约为220nm,属六方纤锌矿结构,其c轴取向度与热分解温度有很大关系;ZnO薄膜在室温下均有较强的紫外带边发射峰,且紫外带边发射峰与样品c轴取向度没有直接关系,与缺陷有关的可见发射带很弱.
採用溶膠-凝膠(Sol-Gel)鏇塗法在Si(100)襯底上製備ZnO薄膜,利用X射線衍射(XRD)、光緻髮光譜(PL)、掃描電子顯微鏡(SEM)等手段分析製得的ZnO薄膜的晶體結構和髮光特性.著重攷察瞭熱分解溫度對ZnO薄膜晶體結構和髮光特性的影響.結果錶明,溶膠-凝膠鏇塗法製備的ZnO薄膜樣品厚度約為220nm,屬六方纖鋅礦結構,其c軸取嚮度與熱分解溫度有很大關繫;ZnO薄膜在室溫下均有較彊的紫外帶邊髮射峰,且紫外帶邊髮射峰與樣品c軸取嚮度沒有直接關繫,與缺陷有關的可見髮射帶很弱.
채용용효-응효(Sol-Gel)선도법재Si(100)츤저상제비ZnO박막,이용X사선연사(XRD)、광치발광보(PL)、소묘전자현미경(SEM)등수단분석제득적ZnO박막적정체결구화발광특성.착중고찰료열분해온도대ZnO박막정체결구화발광특성적영향.결과표명,용효-응효선도법제비적ZnO박막양품후도약위220nm,속륙방섬자광결구,기c축취향도여열분해온도유흔대관계;ZnO박막재실온하균유교강적자외대변발사봉,차자외대변발사봉여양품c축취향도몰유직접관계,여결함유관적가견발사대흔약.
