物理学报
物理學報
물이학보
2008年
3期
1840-1845
,共6页
何国荣%郑婉华%渠红伟%杨国华%王青%曹玉莲%陈良惠
何國榮%鄭婉華%渠紅偉%楊國華%王青%曹玉蓮%陳良惠
하국영%정완화%거홍위%양국화%왕청%조옥련%진량혜
键合%面发射激光器%热导率%电导率
鍵閤%麵髮射激光器%熱導率%電導率
건합%면발사격광기%열도솔%전도솔
通过界面有效吸收系数的计算及界面对腔模的反射率的影响可知,采用双面键合技术制备面发射激光器应使键合界面处于驻波场分布零点位置,同时界面厚度应该小于20 nm以使器件光学性能受界面吸收系数的影响较小.采用有限元方法分析VCSEL温度分布,结果证实薄的键合界面使VCSEL有源区温度对界面的热导率和电导率改变不敏感,而厚的键合界面将可能使有源区温度有较大地升高.给器件带来严重的不良影响.亲水键合和疏水键合的SEM照片说明疏水处理界面较薄,适合用于器件的制备.而亲水处理界面厚度>40nm,对器件的光、热特性不利.
通過界麵有效吸收繫數的計算及界麵對腔模的反射率的影響可知,採用雙麵鍵閤技術製備麵髮射激光器應使鍵閤界麵處于駐波場分佈零點位置,同時界麵厚度應該小于20 nm以使器件光學性能受界麵吸收繫數的影響較小.採用有限元方法分析VCSEL溫度分佈,結果證實薄的鍵閤界麵使VCSEL有源區溫度對界麵的熱導率和電導率改變不敏感,而厚的鍵閤界麵將可能使有源區溫度有較大地升高.給器件帶來嚴重的不良影響.親水鍵閤和疏水鍵閤的SEM照片說明疏水處理界麵較薄,適閤用于器件的製備.而親水處理界麵厚度>40nm,對器件的光、熱特性不利.
통과계면유효흡수계수적계산급계면대강모적반사솔적영향가지,채용쌍면건합기술제비면발사격광기응사건합계면처우주파장분포영점위치,동시계면후도응해소우20 nm이사기건광학성능수계면흡수계수적영향교소.채용유한원방법분석VCSEL온도분포,결과증실박적건합계면사VCSEL유원구온도대계면적열도솔화전도솔개변불민감,이후적건합계면장가능사유원구온도유교대지승고.급기건대래엄중적불량영향.친수건합화소수건합적SEM조편설명소수처리계면교박,괄합용우기건적제비.이친수처리계면후도>40nm,대기건적광、열특성불리.
