光学精密工程
光學精密工程
광학정밀공정
OPTICS AND PRECISION ENGINEERING
2009年
1期
38-44
,共7页
激光技术%小尺度不均匀性%正交光楔列阵%楔角偏差%离焦打靶
激光技術%小呎度不均勻性%正交光楔列陣%楔角偏差%離焦打靶
격광기술%소척도불균균성%정교광설렬진%설각편차%리초타파
推导出了正交光楔列阵(CSWA)聚焦系统的多光束干涉条纹主极大和两相邻主极大间的次极大间距公式,并根据广义惠更斯-菲涅耳衍射积分理论,通过数值计算证明了CSWA的小尺度不均匀性的变化规律与物理光学的公式符合.另外,提出改善小尺度不均匀性的两种方法:楔角偏差和离焦打靶技术.计算分析和实验研究表明,优化楔角偏差和离焦量的量值,即δpj=2.0%,ΔZ=2 mm时,干涉主极大间隔与没加这两种技术时相比减小了6倍,小尺度的不均匀性得到了明显的改善.
推導齣瞭正交光楔列陣(CSWA)聚焦繫統的多光束榦涉條紋主極大和兩相鄰主極大間的次極大間距公式,併根據廣義惠更斯-菲涅耳衍射積分理論,通過數值計算證明瞭CSWA的小呎度不均勻性的變化規律與物理光學的公式符閤.另外,提齣改善小呎度不均勻性的兩種方法:楔角偏差和離焦打靶技術.計算分析和實驗研究錶明,優化楔角偏差和離焦量的量值,即δpj=2.0%,ΔZ=2 mm時,榦涉主極大間隔與沒加這兩種技術時相比減小瞭6倍,小呎度的不均勻性得到瞭明顯的改善.
추도출료정교광설렬진(CSWA)취초계통적다광속간섭조문주겁대화량상린주겁대간적차겁대간거공식,병근거엄의혜경사-비열이연사적분이론,통과수치계산증명료CSWA적소척도불균균성적변화규률여물리광학적공식부합.령외,제출개선소척도불균균성적량충방법:설각편차화리초타파기술.계산분석화실험연구표명,우화설각편차화리초량적량치,즉δpj=2.0%,ΔZ=2 mm시,간섭주겁대간격여몰가저량충기술시상비감소료6배,소척도적불균균성득도료명현적개선.
