河北省科学院学报
河北省科學院學報
하북성과학원학보
JOURNAL OF THE HEBEI ACADEMY OF SCIENCES
2008年
4期
41-44
,共4页
申玉双%杨芙丽%许新芳%翟学良
申玉雙%楊芙麗%許新芳%翟學良
신옥쌍%양부려%허신방%적학량
无机非金属材料%钛酸钡薄膜%甩膜法%扫描探针
無機非金屬材料%鈦痠鋇薄膜%甩膜法%掃描探針
무궤비금속재료%태산패박막%솔막법%소묘탐침
采用溶胶-凝胶(Sol-Gel)法合成稳定的前驱体溶液.在单晶硅(100)上用甩膜法制得了均匀致密的钛酸钡薄膜,利用差热-热重(DTA-TGA)技术分析了钛酸钡(BT)干凝胶的热演化过程,首次用电子探针显微镜(SPM)之原子力显微镜(AFM)直接地从三维的角度观测了钛酸钡薄膜微观形成过程,并用XRD技术跟踪了薄膜加热过程中物相的变化情况,得到了薄膜生长的基本信息,最终制得了表面光滑的钛酸钡薄膜,晶粒大小在50-70nm之间.最佳煅烧温度为700℃.
採用溶膠-凝膠(Sol-Gel)法閤成穩定的前驅體溶液.在單晶硅(100)上用甩膜法製得瞭均勻緻密的鈦痠鋇薄膜,利用差熱-熱重(DTA-TGA)技術分析瞭鈦痠鋇(BT)榦凝膠的熱縯化過程,首次用電子探針顯微鏡(SPM)之原子力顯微鏡(AFM)直接地從三維的角度觀測瞭鈦痠鋇薄膜微觀形成過程,併用XRD技術跟蹤瞭薄膜加熱過程中物相的變化情況,得到瞭薄膜生長的基本信息,最終製得瞭錶麵光滑的鈦痠鋇薄膜,晶粒大小在50-70nm之間.最佳煅燒溫度為700℃.
채용용효-응효(Sol-Gel)법합성은정적전구체용액.재단정규(100)상용솔막법제득료균균치밀적태산패박막,이용차열-열중(DTA-TGA)기술분석료태산패(BT)간응효적열연화과정,수차용전자탐침현미경(SPM)지원자력현미경(AFM)직접지종삼유적각도관측료태산패박막미관형성과정,병용XRD기술근종료박막가열과정중물상적변화정황,득도료박막생장적기본신식,최종제득료표면광활적태산패박막,정립대소재50-70nm지간.최가단소온도위700℃.
