CAJ | 학술논문

用氮氧化铪薄膜作为CVDZnS衬底的保护膜、由YbF<,3>和ZnS组成的增透膜系分别在CVDZnS的两面制备了保护膜和增透膜,研究了镀膜前后CVDZnS在8～12 μm波段的光学性能,单面镀制增透膜之后CVDZnS在此波段的平均透过率由未镀膜前的74%提高到了82%,峰值透过率大于83.5%.在CVDZnS上镀制HfON保护膜后,其8～12 μm波段透过率没有明显的降低,同时硬度测试表明HfON薄膜的硬度约为11.6 GPa,远大干衬底CVDZnS的硬度.胶带实验和泡水试验表明,制备的保护膜和增透膜均和衬底有很好的附着力.
용담양화협박막작위CVDZnS츤저적보호막、유YbF<,3>화ZnS조성적증투막계분별재CVDZnS적량면제비료보호막화증투막,연구료도막전후CVDZnS재8～12 μm파단적광학성능,단면도제증투막지후CVDZnS재차파단적평균투과솔유미도막전적74%제고도료82%,봉치투과솔대우83.5%.재CVDZnS상도제HfON보호막후,기8～12 μm파단투과솔몰유명현적강저,동시경도측시표명HfON박막적경도약위11.6 GPa,원대간츤저CVDZnS적경도.효대실험화포수시험표명,제비적보호막화증투막균화츤저유흔호적부착력.