传感器世界
傳感器世界
전감기세계
SENSOR WORLD
2009年
8期
15-17
,共3页
常慧敏%周平%高理升%王英先%徐智晴%刘春艳
常慧敏%週平%高理升%王英先%徐智晴%劉春豔
상혜민%주평%고리승%왕영선%서지청%류춘염
厚膜%电容式%压力敏感芯片
厚膜%電容式%壓力敏感芯片
후막%전용식%압력민감심편
介绍一种厚膜电容式压力传感器,它以陶瓷弹性体和盖板为电容的电极,电极材料为钯银导体,传感器包括压力敏感芯片和电容-电压转换电路,该芯片是由两块能牢固键合成一体的基板组成,基板材料为96%Al2O3陶瓷.传感器量程为0～200kPa,电容值20 pF,非线性0.3%,工作温度-20～+85℃,零点温漂小于200ppm/℃.具有易于批量生产、性能/价格比高等技术优势.
介紹一種厚膜電容式壓力傳感器,它以陶瓷彈性體和蓋闆為電容的電極,電極材料為鈀銀導體,傳感器包括壓力敏感芯片和電容-電壓轉換電路,該芯片是由兩塊能牢固鍵閤成一體的基闆組成,基闆材料為96%Al2O3陶瓷.傳感器量程為0～200kPa,電容值20 pF,非線性0.3%,工作溫度-20～+85℃,零點溫漂小于200ppm/℃.具有易于批量生產、性能/價格比高等技術優勢.
개소일충후막전용식압력전감기,타이도자탄성체화개판위전용적전겁,전겁재료위파은도체,전감기포괄압력민감심편화전용-전압전환전로,해심편시유량괴능뢰고건합성일체적기판조성,기판재료위96%Al2O3도자.전감기량정위0～200kPa,전용치20 pF,비선성0.3%,공작온도-20～+85℃,영점온표소우200ppm/℃.구유역우비량생산、성능/개격비고등기술우세.
