测试技术学报
測試技術學報
측시기술학보
JOURNAL OF TEST AND MEASUREMENT TECHNOLOGY
2010年
5期
463-466
,共4页
刘君%薛晨阳%丑修建%刘毅%牛康康
劉君%薛晨暘%醜脩建%劉毅%牛康康
류군%설신양%축수건%류의%우강강
扫描白光干涉%GaAs台阶结构%透射反射干涉%三维形貌还原%零光程差
掃描白光榦涉%GaAs檯階結構%透射反射榦涉%三維形貌還原%零光程差
소묘백광간섭%GaAs태계결구%투사반사간섭%삼유형모환원%령광정차
利用扫描白光干涉的测量方法,通过透射反射干涉的方式,对覆盖不同层数透明薄膜GaAs台阶结构进行透射测试,实现了对覆盖透明薄膜的GaAs台阶结构三维形貌还原方法的验证.该测量方法是在Pizeo的驱动下,通过改变测量臂和参考臂之间的光程差,使其不同高度的表面到达零光程差位置,并由CCD记录整个扫描过程中干涉条纹的变化状况,进而提取被测件的三维形貌信息.该测试技术具有非接触、无破损、高灵敏度和快速测量的特点.可为膜后形貌的三维重构提供借鉴方法.
利用掃描白光榦涉的測量方法,通過透射反射榦涉的方式,對覆蓋不同層數透明薄膜GaAs檯階結構進行透射測試,實現瞭對覆蓋透明薄膜的GaAs檯階結構三維形貌還原方法的驗證.該測量方法是在Pizeo的驅動下,通過改變測量臂和參攷臂之間的光程差,使其不同高度的錶麵到達零光程差位置,併由CCD記錄整箇掃描過程中榦涉條紋的變化狀況,進而提取被測件的三維形貌信息.該測試技術具有非接觸、無破損、高靈敏度和快速測量的特點.可為膜後形貌的三維重構提供藉鑒方法.
이용소묘백광간섭적측량방법,통과투사반사간섭적방식,대복개불동층수투명박막GaAs태계결구진행투사측시,실현료대복개투명박막적GaAs태계결구삼유형모환원방법적험증.해측량방법시재Pizeo적구동하,통과개변측량비화삼고비지간적광정차,사기불동고도적표면도체령광정차위치,병유CCD기록정개소묘과정중간섭조문적변화상황,진이제취피측건적삼유형모신식.해측시기술구유비접촉、무파손、고령민도화쾌속측량적특점.가위막후형모적삼유중구제공차감방법.
