激光技术
激光技術
격광기술
LASER TECHNOLOGY
2011年
1期
36-38,85
,共4页
戴玉堂%崔健磊%徐刚%白帆
戴玉堂%崔健磊%徐剛%白帆
대옥당%최건뢰%서강%백범
激光技术%157nm激光%激光参量%刻蚀效率%刻蚀质量
激光技術%157nm激光%激光參量%刻蝕效率%刻蝕質量
격광기술%157nm격광%격광삼량%각식효솔%각식질량
为了研究157nm激光工艺参量对刻蚀件能的影响,采用157nm深紫外激光对两种宽禁带材料(石英玻璃和蓝宝石)进行微刻蚀试验,得到了理想的工艺参量范围,蓝宝石的刻蚀速率大约是石英玻璃的一半,并且蓝宝石的刻蚀表面要比石英玻璃粗糙得多.随着刻蚀深度的增加,光解生成物的脱出变得困难,从而导致刻蚀速率的降低.选用较高的扫描速率和较低脉冲频率的组合进行激光扫描刻蚀能有效地降低刻蚀面的粗糙度.结果表明,对非金属材料的刻蚀,激光的能量密度在材料刻蚀阈值的2.5倍～4倍时能获得较好的刻蚀效果.
為瞭研究157nm激光工藝參量對刻蝕件能的影響,採用157nm深紫外激光對兩種寬禁帶材料(石英玻璃和藍寶石)進行微刻蝕試驗,得到瞭理想的工藝參量範圍,藍寶石的刻蝕速率大約是石英玻璃的一半,併且藍寶石的刻蝕錶麵要比石英玻璃粗糙得多.隨著刻蝕深度的增加,光解生成物的脫齣變得睏難,從而導緻刻蝕速率的降低.選用較高的掃描速率和較低脈遲頻率的組閤進行激光掃描刻蝕能有效地降低刻蝕麵的粗糙度.結果錶明,對非金屬材料的刻蝕,激光的能量密度在材料刻蝕閾值的2.5倍～4倍時能穫得較好的刻蝕效果.
위료연구157nm격광공예삼량대각식건능적영향,채용157nm심자외격광대량충관금대재료(석영파리화람보석)진행미각식시험,득도료이상적공예삼량범위,람보석적각식속솔대약시석영파리적일반,병차람보석적각식표면요비석영파리조조득다.수착각식심도적증가,광해생성물적탈출변득곤난,종이도치각식속솔적강저.선용교고적소묘속솔화교저맥충빈솔적조합진행격광소묘각식능유효지강저각식면적조조도.결과표명,대비금속재료적각식,격광적능량밀도재재료각식역치적2.5배～4배시능획득교호적각식효과.
