真空科学与技术学报
真空科學與技術學報
진공과학여기술학보
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE AND TECHNOLOGY
2012年
1期
1-5
,共5页
刘忠伟%李森%陈强%王正锋%杨丽珍
劉忠偉%李森%陳彊%王正鋒%楊麗珍
류충위%리삼%진강%왕정봉%양려진
等离子体射流%二氧化钛%光催化%薄膜
等離子體射流%二氧化鈦%光催化%薄膜
등리자체사류%이양화태%광최화%박막
利用大气压低温等离子体射流技术,以空气为放电气体,四氯化钛为钛源,在玻璃载玻片基底上制备了二氧化钛薄膜.利用扫描电镜及椭圆偏振仪分析测量了薄膜的表面形貌与沉积速率.利用紫外光照射硬脂酸分解速率评价所制备薄膜的光催化活性,结果显示在同一放电输入功率及气体流量条件下,四氯化钛前驱体引入位置距射流枪枪口越近,所制备的二氧化钛薄膜光催化性能越高.在同一反应位置时,放电输入功率的增加有助于提高二氧化钛薄膜的光催化活性.
利用大氣壓低溫等離子體射流技術,以空氣為放電氣體,四氯化鈦為鈦源,在玻璃載玻片基底上製備瞭二氧化鈦薄膜.利用掃描電鏡及橢圓偏振儀分析測量瞭薄膜的錶麵形貌與沉積速率.利用紫外光照射硬脂痠分解速率評價所製備薄膜的光催化活性,結果顯示在同一放電輸入功率及氣體流量條件下,四氯化鈦前驅體引入位置距射流鎗鎗口越近,所製備的二氧化鈦薄膜光催化性能越高.在同一反應位置時,放電輸入功率的增加有助于提高二氧化鈦薄膜的光催化活性.
이용대기압저온등리자체사류기술,이공기위방전기체,사록화태위태원,재파리재파편기저상제비료이양화태박막.이용소묘전경급타원편진의분석측량료박막적표면형모여침적속솔.이용자외광조사경지산분해속솔평개소제비박막적광최화활성,결과현시재동일방전수입공솔급기체류량조건하,사록화태전구체인입위치거사류창창구월근,소제비적이양화태박막광최화성능월고.재동일반응위치시,방전수입공솔적증가유조우제고이양화태박막적광최화활성.
