微电子学
微電子學
미전자학
MICROELECTRONICS
2007年
2期
207-209
,共3页
李金儒%陈宝钦%赵珉%汤跃科
李金儒%陳寶欽%趙珉%湯躍科
리금유%진보흠%조민%탕약과
CIF格式%PG3600格式%图形切割%数据格式转换
CIF格式%PG3600格式%圖形切割%數據格式轉換
CIF격식%PG3600격식%도형절할%수거격식전환
提出了微光刻图形CIF数据格式到PG3600数据格式转换软件新的图形切割算法,该算法将L-EDIT输出的CIF格式中的四种图形当作任意多边形处理,然后把多边形切割成矩形.与其他算法相比较,该算法简单、切割理想、切割后的矩形数据量比其他算法少很多.并以此算法为基础,编制能够运行于Windows操作系统且又能够挂靠在L-EDIT上的数据格式转换软件.
提齣瞭微光刻圖形CIF數據格式到PG3600數據格式轉換軟件新的圖形切割算法,該算法將L-EDIT輸齣的CIF格式中的四種圖形噹作任意多邊形處理,然後把多邊形切割成矩形.與其他算法相比較,該算法簡單、切割理想、切割後的矩形數據量比其他算法少很多.併以此算法為基礎,編製能夠運行于Windows操作繫統且又能夠掛靠在L-EDIT上的數據格式轉換軟件.
제출료미광각도형CIF수거격식도PG3600수거격식전환연건신적도형절할산법,해산법장L-EDIT수출적CIF격식중적사충도형당작임의다변형처리,연후파다변형절할성구형.여기타산법상비교,해산법간단、절할이상、절할후적구형수거량비기타산법소흔다.병이차산법위기출,편제능구운행우Windows조작계통차우능구괘고재L-EDIT상적수거격식전환연건.