传感器与微系统
傳感器與微繫統
전감기여미계통
TRANSDUCER AND MICROSYSTEM TECHNOLOGY
2008年
3期
49-51,57
,共4页
乙醇传感器%湿度影响%信号衰减%Nb2O5掺杂剂
乙醇傳感器%濕度影響%信號衰減%Nb2O5摻雜劑
을순전감기%습도영향%신호쇠감%Nb2O5참잡제
详细考察了湿度对SnO2系半导体乙醇传感器的影响,实验表明:环境湿度会使三价金属氧化物掺杂的SnO2半导体材料灵敏度下降,其中以氧化镧掺杂的snO2系乙醇传感器衰减严重,在相对湿度90%RH(25℃)的环境中3×10-4体积分数的乙醇信号衰减率达到30%-40%,这种现象同样存在与In2O3和Al2O3掺杂体系的传感器上.以Nb2O5为掺杂剂的传感器体系湿度引起的灵敏度衰减轻微,用I.5%Nb2O3和0.5%La2O3配合使用的掺杂剂湿度影响较小,同时,传感器对乙醇灵敏度和选择性较好.
詳細攷察瞭濕度對SnO2繫半導體乙醇傳感器的影響,實驗錶明:環境濕度會使三價金屬氧化物摻雜的SnO2半導體材料靈敏度下降,其中以氧化鑭摻雜的snO2繫乙醇傳感器衰減嚴重,在相對濕度90%RH(25℃)的環境中3×10-4體積分數的乙醇信號衰減率達到30%-40%,這種現象同樣存在與In2O3和Al2O3摻雜體繫的傳感器上.以Nb2O5為摻雜劑的傳感器體繫濕度引起的靈敏度衰減輕微,用I.5%Nb2O3和0.5%La2O3配閤使用的摻雜劑濕度影響較小,同時,傳感器對乙醇靈敏度和選擇性較好.
상세고찰료습도대SnO2계반도체을순전감기적영향,실험표명:배경습도회사삼개금속양화물참잡적SnO2반도체재료령민도하강,기중이양화란참잡적snO2계을순전감기쇠감엄중,재상대습도90%RH(25℃)적배경중3×10-4체적분수적을순신호쇠감솔체도30%-40%,저충현상동양존재여In2O3화Al2O3참잡체계적전감기상.이Nb2O5위참잡제적전감기체계습도인기적령민도쇠감경미,용I.5%Nb2O3화0.5%La2O3배합사용적참잡제습도영향교소,동시,전감기대을순령민도화선택성교호.
