稀有金属材料与工程
稀有金屬材料與工程
희유금속재료여공정
RARE METAL MATERIALS AND ENGINEERNG
2008年
z2期
233-236
,共4页
程铁栋%唐新桂%匡淑娟%熊惠芳%刘秋香%蒋艳平
程鐵棟%唐新桂%劻淑娟%熊惠芳%劉鞦香%蔣豔平
정철동%당신계%광숙연%웅혜방%류추향%장염평
PLT薄膜%界面特性%漏电流%肖特基发射%空间电荷限制电流
PLT薄膜%界麵特性%漏電流%肖特基髮射%空間電荷限製電流
PLT박막%계면특성%루전류%초특기발사%공간전하한제전류
采用溶胶-凝胶法(sol-gel),以LaNiO3(LNO)为底电极在/Pt/Ti/SiO2/Si(100)衬底上生长了(Pb1-xLax)Ti1-x/4O3(x=28 mol%,简称PLT)薄膜.经过600℃快速退火.从而得到了多晶钙钛矿结构PLT薄膜.薄膜漏电流和电压极性有关,当在Pt电极或LNO电极施加负偏压时,在低电场作用下,Pt/PLT和PLT/LNO界面分别形成肖特基势垒和欧姆接触;在高电场作用下,Pt/PLT和PLT/INO界面的漏电流均呈现空间电荷限制电流导电机制.这是因为用金属氧化物LNO做底电极的缘故.
採用溶膠-凝膠法(sol-gel),以LaNiO3(LNO)為底電極在/Pt/Ti/SiO2/Si(100)襯底上生長瞭(Pb1-xLax)Ti1-x/4O3(x=28 mol%,簡稱PLT)薄膜.經過600℃快速退火.從而得到瞭多晶鈣鈦礦結構PLT薄膜.薄膜漏電流和電壓極性有關,噹在Pt電極或LNO電極施加負偏壓時,在低電場作用下,Pt/PLT和PLT/LNO界麵分彆形成肖特基勢壘和歐姆接觸;在高電場作用下,Pt/PLT和PLT/INO界麵的漏電流均呈現空間電荷限製電流導電機製.這是因為用金屬氧化物LNO做底電極的緣故.
채용용효-응효법(sol-gel),이LaNiO3(LNO)위저전겁재/Pt/Ti/SiO2/Si(100)츤저상생장료(Pb1-xLax)Ti1-x/4O3(x=28 mol%,간칭PLT)박막.경과600℃쾌속퇴화.종이득도료다정개태광결구PLT박막.박막루전류화전압겁성유관,당재Pt전겁혹LNO전겁시가부편압시,재저전장작용하,Pt/PLT화PLT/LNO계면분별형성초특기세루화구모접촉;재고전장작용하,Pt/PLT화PLT/INO계면적루전류균정현공간전하한제전류도전궤제.저시인위용금속양화물LNO주저전겁적연고.
