青岛大学学报（自然科学版）
青島大學學報（自然科學版）
청도대학학보（자연과학판）
JOURNAL OF QINGDAO UNIVERSITY(NATURAL SCIENCE EDITION)
2011年
1期
38-41
,共4页
孙海燕%耿广州%黄家寅%单福凯%LEE Won-jae
孫海燕%耿廣州%黃傢寅%單福凱%LEE Won-jae
손해연%경엄주%황가인%단복개%LEE Won-jae
氧化锌%磁控溅射%气压%X-射线衍射仪
氧化鋅%磁控濺射%氣壓%X-射線衍射儀
양화자%자공천사%기압%X-사선연사의
采用射频磁控溅射的方法,通过改变溅射气压,在玻璃衬底上沉积出具有c轴择优取向的ZnO薄膜.用X射线衍射仪(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)和原子力显微镜(AFM)对不同溅射气压下ZnO薄膜的结构、断面和表面形貌进行研究分析.结果表明,随着溅射气压的降低,ZnO薄膜的(002)取向增强,薄膜的厚度增加,沉积速率加快,氧化锌薄膜的沉积速率从4 nm/min升高到21 nm/min.在溅射压强为2.5 Pa时制备的ZnO薄膜粗糙度最小,大小为5.45 nm.
採用射頻磁控濺射的方法,通過改變濺射氣壓,在玻璃襯底上沉積齣具有c軸擇優取嚮的ZnO薄膜.用X射線衍射儀(XRD)、掃描電子顯微鏡(SEM)和原子力顯微鏡(AFM)對不同濺射氣壓下ZnO薄膜的結構、斷麵和錶麵形貌進行研究分析.結果錶明,隨著濺射氣壓的降低,ZnO薄膜的(002)取嚮增彊,薄膜的厚度增加,沉積速率加快,氧化鋅薄膜的沉積速率從4 nm/min升高到21 nm/min.在濺射壓彊為2.5 Pa時製備的ZnO薄膜粗糙度最小,大小為5.45 nm.
채용사빈자공천사적방법,통과개변천사기압,재파리츤저상침적출구유c축택우취향적ZnO박막.용X사선연사의(XRD)、소묘전자현미경(SEM)화원자력현미경(AFM)대불동천사기압하ZnO박막적결구、단면화표면형모진행연구분석.결과표명,수착천사기압적강저,ZnO박막적(002)취향증강,박막적후도증가,침적속솔가쾌,양화자박막적침적속솔종4 nm/min승고도21 nm/min.재천사압강위2.5 Pa시제비적ZnO박막조조도최소,대소위5.45 nm.
