表面技术
錶麵技術
표면기술
SURFACE TECHNOLOGY
2012年
2期
93-100,104
,共9页
电弧离子镀%硬质薄膜%氮化物%非晶碳膜%氧化物薄膜
電弧離子鍍%硬質薄膜%氮化物%非晶碳膜%氧化物薄膜
전호리자도%경질박막%담화물%비정탄막%양화물박막
从电弧蒸发源控制技术和大颗粒过滤技术出发,论述了电弧离子镀技术最近的发展成果,并总结了电弧离子镀技术在氮化物、氧化物、非晶碳等薄膜方面的技术应用进展,以期能对我国电弧离子镀技术及其在硬质薄膜方面的应用起到一定的参考作用.
從電弧蒸髮源控製技術和大顆粒過濾技術齣髮,論述瞭電弧離子鍍技術最近的髮展成果,併總結瞭電弧離子鍍技術在氮化物、氧化物、非晶碳等薄膜方麵的技術應用進展,以期能對我國電弧離子鍍技術及其在硬質薄膜方麵的應用起到一定的參攷作用.
종전호증발원공제기술화대과립과려기술출발,논술료전호리자도기술최근적발전성과,병총결료전호리자도기술재담화물、양화물、비정탄등박막방면적기술응용진전,이기능대아국전호리자도기술급기재경질박막방면적응용기도일정적삼고작용.
