发光学报
髮光學報
발광학보
CHINESE JOURNAL OF LUMINESCENCE
2012年
7期
742-746
,共5页
石素君%朱德亮%吕有明%曹培江%柳文军%贾芳%马晓翠
石素君%硃德亮%呂有明%曹培江%柳文軍%賈芳%馬曉翠
석소군%주덕량%려유명%조배강%류문군%가방%마효취
H掺杂AZO薄膜%氩气退火%热稳定性%Hall测试
H摻雜AZO薄膜%氬氣退火%熱穩定性%Hall測試
H참잡AZO박막%아기퇴화%열은정성%Hall측시
采用射频磁控溅射法,在石英玻璃衬底上制备出了性能良好的H掺杂AZO透明导电薄膜,通过XRD、Hall、UV-Vis等测试手段,研究了氩气气氛中退火温度对薄膜电学热稳定性的影响.实验结果显示,随着退火温度的升高,薄膜中载流子的浓度和迁移率下降.分析认为,这与薄膜中氢的逸出密切相关.
採用射頻磁控濺射法,在石英玻璃襯底上製備齣瞭性能良好的H摻雜AZO透明導電薄膜,通過XRD、Hall、UV-Vis等測試手段,研究瞭氬氣氣氛中退火溫度對薄膜電學熱穩定性的影響.實驗結果顯示,隨著退火溫度的升高,薄膜中載流子的濃度和遷移率下降.分析認為,這與薄膜中氫的逸齣密切相關.
채용사빈자공천사법,재석영파리츤저상제비출료성능량호적H참잡AZO투명도전박막,통과XRD、Hall、UV-Vis등측시수단,연구료아기기분중퇴화온도대박막전학열은정성적영향.실험결과현시,수착퇴화온도적승고,박막중재류자적농도화천이솔하강.분석인위,저여박막중경적일출밀절상관.
