机械强度
機械彊度
궤계강도
JOURNAL OF MECHANICAL STRENGTH
2004年
4期
389-392
,共4页
邱宇%雷振坤%亢一澜%胡明%徐晗%牛红攀
邱宇%雷振坤%亢一瀾%鬍明%徐晗%牛紅攀
구우%뢰진곤%항일란%호명%서함%우홍반
残余应力%拉曼光谱法%孔隙率%裂纹%多孔硅
殘餘應力%拉曼光譜法%孔隙率%裂紋%多孔硅
잔여응력%랍만광보법%공극솔%렬문%다공규
多孔硅薄膜/硅基底结构是微机电系统(micro-electro-mechanical system,MEMS)中的一个基本组元,其厚度为微米量级.由于薄膜与基底材料之间存在着晶格错配,在薄膜/基底间的界面上会出现残余应力,严重时会导致裂纹出现而发生断裂.微拉曼光谱法(micro-Raman spectroscopy,MRS)是近些年来在化学、物理、材料和力学等学科领域迅速发展的光学测量方法.文中对这一方法进行介绍,并且用来测量化学腐蚀多孔硅薄膜结构的残余应力,发现随着孔隙率的增加,多孔硅表面的拉伸应力逐渐增大.特别对某一样品出现裂纹区的拉曼测量表明,在裂纹区的残余应力急剧上升,达到了0.92GPa.使用金相显微镜观察不同孔隙率的多孔硅薄膜表面的微观形貌,这种不同程度的微观孔穴结构与残余应力的分布存在着紧密的联系.
多孔硅薄膜/硅基底結構是微機電繫統(micro-electro-mechanical system,MEMS)中的一箇基本組元,其厚度為微米量級.由于薄膜與基底材料之間存在著晶格錯配,在薄膜/基底間的界麵上會齣現殘餘應力,嚴重時會導緻裂紋齣現而髮生斷裂.微拉曼光譜法(micro-Raman spectroscopy,MRS)是近些年來在化學、物理、材料和力學等學科領域迅速髮展的光學測量方法.文中對這一方法進行介紹,併且用來測量化學腐蝕多孔硅薄膜結構的殘餘應力,髮現隨著孔隙率的增加,多孔硅錶麵的拉伸應力逐漸增大.特彆對某一樣品齣現裂紋區的拉曼測量錶明,在裂紋區的殘餘應力急劇上升,達到瞭0.92GPa.使用金相顯微鏡觀察不同孔隙率的多孔硅薄膜錶麵的微觀形貌,這種不同程度的微觀孔穴結構與殘餘應力的分佈存在著緊密的聯繫.
다공규박막/규기저결구시미궤전계통(micro-electro-mechanical system,MEMS)중적일개기본조원,기후도위미미량급.유우박막여기저재료지간존재착정격착배,재박막/기저간적계면상회출현잔여응력,엄중시회도치렬문출현이발생단렬.미랍만광보법(micro-Raman spectroscopy,MRS)시근사년래재화학、물리、재료화역학등학과영역신속발전적광학측량방법.문중대저일방법진행개소,병차용래측양화학부식다공규박막결구적잔여응력,발현수착공극솔적증가,다공규표면적랍신응력축점증대.특별대모일양품출현렬문구적랍만측량표명,재렬문구적잔여응력급극상승,체도료0.92GPa.사용금상현미경관찰불동공극솔적다공규박막표면적미관형모,저충불동정도적미관공혈결구여잔여응력적분포존재착긴밀적련계.
