硬质合金基体上钛过渡层碳化条件对金刚石薄膜附着力的影响
경질합금기체상태과도층탄화조건대금강석박막부착력적영향
Effect of the Carbonization Conditions on the Adhesion of Diamond Film on Cemented Carbide
  • 万方数据
    人工晶体学报 인공정체학보

    2004年 6期 1048-1051 ,共4页

    王传新%汪建华%满卫东%马志斌%王升高%傅朝坤%李克林%康志成

    왕전신%왕건화%만위동%마지빈%왕승고%부조곤%리극림%강지성

    硬质合金%HFCVD%金刚石薄膜%Ti过渡层 硬質閤金%HFCVD%金剛石薄膜%Ti過渡層
    경질합금%HFCVD%금강석박막%Ti과도층
    以WC-6%Co为基体,采用磁控溅射法,在酸蚀后进行氢等离子体脱碳试样上制备Ti过渡层,然后碳化过渡层为TiC.在电子辅助热丝化学气相沉积装置中制备金刚石薄膜.研究碳化条件对金刚石薄膜与基体附着力的影响.结果表明,在700℃左右的低温碳化,TiC结构致密,而在850℃左右的高温碳化,TiC呈疏松的多孔组织,在CH4-Ar等离子体中碳化则850℃左右仍能获得致密的TiC层.在致密的过渡层上沉积的金刚石薄膜具有更高的附着力.
    이WC-6%Co위기체,채용자공천사법,재산식후진행경등리자체탈탄시양상제비Ti과도층,연후탄화과도층위TiC.재전자보조열사화학기상침적장치중제비금강석박막.연구탄화조건대금강석박막여기체부착력적영향.결과표명,재700℃좌우적저온탄화,TiC결구치밀,이재850℃좌우적고온탄화,TiC정소송적다공조직,재CH4-Ar등리자체중탄화칙850℃좌우잉능획득치밀적TiC층.재치밀적과도층상침적적금강석박막구유경고적부착력.
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