真空
真空
진공
VACUUM
2006年
3期
55-58
,共4页
汪礼胜%唐德礼%熊涛%陈庆川
汪禮勝%唐德禮%熊濤%陳慶川
왕례성%당덕례%웅도%진경천
端部霍尔离子源%离子束辅助沉积%磁场%数值模拟
耑部霍爾離子源%離子束輔助沉積%磁場%數值模擬
단부곽이리자원%리자속보조침적%자장%수치모의
首先简单介绍了用于离子束辅助沉积的端部霍尔离子源的工作原理,然后分析了其性能对磁场的要求,据此介绍了磁路组件的设计.最后,采用ANSYS大型有限元分析软件对一个条形的端部霍尔离子源的磁场进行了模拟计算,并与实验结果进行了比较,获得了满意的结果.通过对模拟结果的分析,获得了对该离子源磁场分布的直观深入的认识,为具体的端部霍尔离子源的改进设计提供了理论指导.
首先簡單介紹瞭用于離子束輔助沉積的耑部霍爾離子源的工作原理,然後分析瞭其性能對磁場的要求,據此介紹瞭磁路組件的設計.最後,採用ANSYS大型有限元分析軟件對一箇條形的耑部霍爾離子源的磁場進行瞭模擬計算,併與實驗結果進行瞭比較,穫得瞭滿意的結果.通過對模擬結果的分析,穫得瞭對該離子源磁場分佈的直觀深入的認識,為具體的耑部霍爾離子源的改進設計提供瞭理論指導.
수선간단개소료용우리자속보조침적적단부곽이리자원적공작원리,연후분석료기성능대자장적요구,거차개소료자로조건적설계.최후,채용ANSYS대형유한원분석연건대일개조형적단부곽이리자원적자장진행료모의계산,병여실험결과진행료비교,획득료만의적결과.통과대모의결과적분석,획득료대해리자원자장분포적직관심입적인식,위구체적단부곽이리자원적개진설계제공료이론지도.
