光学精密工程
光學精密工程
광학정밀공정
OPTICS AND PRECISION ENGINEERING
2008年
5期
839-844
,共6页
宏模型%模态分析%静电驱动%微机电系统(MEMS)
宏模型%模態分析%靜電驅動%微機電繫統(MEMS)
굉모형%모태분석%정전구동%미궤전계통(MEMS)
器件宏模型技术是微机电(MEMS)系统设计和系统级仿真的关键技术.为了建立静电致动硅膜板的宏模型,在运用有限元进行模态分析的基础上,利用多变量非线性函数拟合方法,将由数值计算得到的静电器件系统的动能、弹性能和电容写成模态广义坐标表示的解析式,导出以模态坐标表达的器件系统动力学方程,即宏模型.利用该宏模型研究了器件的静态、动态特性,并与有限元计算结果进行比较.结果表明:用模态坐标表达的动态宏模型能够考虑残余应力、大变形、静电力等非线性因素的影响,大大地减少了计算费用,而且具有足够的仿真精度.
器件宏模型技術是微機電(MEMS)繫統設計和繫統級倣真的關鍵技術.為瞭建立靜電緻動硅膜闆的宏模型,在運用有限元進行模態分析的基礎上,利用多變量非線性函數擬閤方法,將由數值計算得到的靜電器件繫統的動能、彈性能和電容寫成模態廣義坐標錶示的解析式,導齣以模態坐標錶達的器件繫統動力學方程,即宏模型.利用該宏模型研究瞭器件的靜態、動態特性,併與有限元計算結果進行比較.結果錶明:用模態坐標錶達的動態宏模型能夠攷慮殘餘應力、大變形、靜電力等非線性因素的影響,大大地減少瞭計算費用,而且具有足夠的倣真精度.
기건굉모형기술시미궤전(MEMS)계통설계화계통급방진적관건기술.위료건립정전치동규막판적굉모형,재운용유한원진행모태분석적기출상,이용다변량비선성함수의합방법,장유수치계산득도적정전기건계통적동능、탄성능화전용사성모태엄의좌표표시적해석식,도출이모태좌표표체적기건계통동역학방정,즉굉모형.이용해굉모형연구료기건적정태、동태특성,병여유한원계산결과진행비교.결과표명:용모태좌표표체적동태굉모형능구고필잔여응력、대변형、정전력등비선성인소적영향,대대지감소료계산비용,이차구유족구적방진정도.
